СПОСОБ ЛАЗЕРНОЙ МЕТАЛЛИЗАЦИИ ДИЭЛЕКТРИЧЕСКОЙ ПОДЛОЖКИ : патент на изобретение

Масленников О.А.; Волков Н.В.; Саблина К.А.; Петраковский Г.А.

Дополнительные ссылки: eLibrary

База данных: Каталог библиотеки СФУ

Библиографическое описание: СПОСОБ ЛАЗЕРНОЙ МЕТАЛЛИЗАЦИИ ДИЭЛЕКТРИЧЕСКОЙ ПОДЛОЖКИ : патент на изобретение / О. А. Масленников [и др.] ; патентообладатель Институт физики им. Л.В.Киренского СО РАН. - № 2001119505/09 ; Заявл. 13.07.2001. - [Б. м. : б. и.], 2002. - Текст : непосредственный. Перевод заглавия: METHOD FOR LASER METALLIZATION OF INSULATING SUBSTRATE

Аннотация: p num="13"Изобретение относится к электротехнике, в частности к проводящим покрытиям на диэлектрических подложках, которые используются в микроэлектронных устройствах и, в частности в гибридных интегральных схемах СВЧ-диапазона. Техническим результатом изобретения является упрощение технологического процесса получения проводящего покрытия высокой химической чистоты на диэлектрике, увеличение прочности сцепления покрытия с подложкой, а также его плотности. Технический результат достигается за счет того, что в способе лазерной металлизации диэлектрической подложки, основанном на обработке поверхности подложки лазерным лучом, новым является то, что в качестве диэлектрика используются бораты меди CuB2O4 и Cu3В2О6 в монокристаллическом состоянии и стекло состава CuО-В2О3 и диэлектрическую подложку обрабатывают лазерным излучением в атмосфере продуктов сгорания углеводородов. Новым в способе является и то, что размер области металлизации диэлектрической подложки задают размером пятна лазерного излучения, а толщину слоя меди регулируют мощностью и продолжительностью воздействия лазерного излучения. 1 з. п. ф-лы, 1 ил.img src="/get_item_image.asp?id=37885639&img=00000001.TIF" class="img_big"/p
p num="14"FIELD: electrical engineering. SUBSTANCE: method for laser metallization of insulating substrate used for microelectronic devices including microwave hybrid integrated circuits is based on substrate surface treatment with laser beam. Novelty is that insulating materials used for the purpose are copper borates CuB2O4 and Cu3B2O6 in single- crystalline state and glass of CuO-B2O3 composition, and that insulating substrate is treated with laser radiation in atmosphere of hydrocarbon combustion products. Novelty is also that surface area on insulating substrate to be metallized is set to be of the same size as laser radiation spot and that copper layer thickness is controlled by varying power and time of exposure to laser beams. EFFECT: facilitated procedure, enhanced chemical purity of coating and its density and strength of adhesion to substrate. 2 cl, 1 dwg/p

Год издания: 2002

Авторы: Масленников О.А., Волков Н.В., Саблина К.А., Петраковский Г.А.

Авторский коллектив: Институт физики им. Л.В.Киренского СО РАН

Держатель оригинала документа: Институт физики им. Л.В.Киренского СО РАН

Количество экземпляров:

Твёрдая копия издания отсутствует в фонде библиотеки

Показать дополнительные сведения

Способ получения аморфных пленок Со-Р на диэлектрической подложке : патент на изобретение

Подорожняк Сергей Александрович и др.
2017 год

Способ измерения диэлектрической проницаемости подложки : авторское свидетельство

БЕЛЯЕВ БОРИС АФАНАСЬЕВИЧ и др.
1993 год

Диэлектрический барьер в субтрактивном процессе формирования системы медной металлизации : статья из журнала

Орлов А. А. и др.
2022 год

Металлизация керамических подложек с использованием лазера и теплового переноса металлизационного… : статья из журнала

Непочатов Юрий
2019 год

Лазерная обработка многослойных покрытий на металлической подложке : статья из журнала

Зоркин А. Я. и др.
2025 год

Способ изготовления тензорезистивного датчика, выполненного в виде тканого полотна из… : патент на изобретение

Симунин Михаил Максимович и др.
2023 год

Лазерный отжиг тонких пленок ITO на гибких органических подложках : статья из журнала

Паршина Л. С. и др.
2019 год

СПОСОБ ИЗМЕРЕНИЯ СТЕПЕНИ ПРОСТРАНСТВЕННОЙ КОГЕРЕНТНОСТИ ЛАЗЕРНОГО ИЗЛУЧЕНИЯ : патент на изобретение

Сизых А.Г. и др.
2004 год

Лучевая прочность нанесенных на поглощающую подложку диэлектрических отражающих покрытий : статья из журнала

Храмов В. Ю. и др.
2019 год

Способ создания оптического пинцета с конфигурируемым массивом вихревых лазерных пучков : патент на изобретение

Иконников Денис Андреевич и др.
2023 год

Оптимизация диэлектрического волновода для лазерных структур дальнего инфракрасного диапазона на… : статья из журнала

Дубинов А. А. и др.
2021 год

ЛАЗЕРНЫЙ РАКЕТНЫЙ ДВИГАТЕЛЬ (ВАРИАНТЫ) : патент

Бикмучев Айдар Рустамович и др.
2015 год

Импульсное лазерное осаждение монокристаллических пленок сплава Гейслера СoFeMnSi на подложке MgO : статья из журнала

Верюжский И. В. и др.
2024 год

Получение тонких пленок теллурида висмута на полиимидных подложках методом импульсного лазерного… : статья из журнала

Шупенев А. Е. и др.
2020 год

Формирование пористого порошкового AL2O3 покрытия способом лазерного импульсного спекания : статья из журнала

Родионов И. В. и др.
2024 год

СПОСОБ НАНЕСЕНИЯ МЕДНОГО ПОКРЫТИЯ НА ДИЭЛЕКТРИК : патент на изобретение

Саблина К.А. и др.
2002 год

Библиотечно-издательский комплекс СФУ