Способ получения тонких магнитных наногранулированных пленок : патент на изобретение

Волочаев Михаил Николаевич; Мягков Виктор Григорьевич; Жигалов Виктор Степанович; Быкова Людмила Евгеньевна; Тамбасов Игорь Анатольевич; Мацынин Алексей Александрович; Шестаков Николай Петрович

Дополнительные ссылки: eLibrary

База данных: Каталог библиотеки СФУ

Библиографическое описание: Способ получения тонких магнитных наногранулированных пленок : патент на изобретение / М. Н. Волочаев [и др.] ; патентообладатель Федеральное государственное бюджетное научное учреждение "Федеральный исследовательский центр "Красноярский научный центр Сибирского отделения Российской академии наук" (ФИЦ КНЦ СО РАН, КНЦ СО РАН). - № 2017128039 ; Заявл. 04.08.2017. - [Б. м. : б. и.], 2018. - Текст : непосредственный. Перевод заглавия: METHOD FOR PRODUCING THIN MAGNETIC NANOGRANULAR FILMS

Аннотация: p num="23"Изобретение относится к способу получения тонких магнитных наногранулированных пленок. Способ включает последовательное осаждение на термостойкую подложку тонкой пленки оксида ферромагнитного металла и слоя металла-восстановителя при комнатной температуре с последующим вакуумным отжигом полученной двухслойной пленки. Слой оксида ферромагнитного металла наносят высокочастотным магнетронным распылением металлической кобальтовой мишени в атмосфере из смеси газов, состоящей из 70% аргона и 30% кислорода при комнатной температуре. На полученный слой в качестве металла-восстановителя осаждают слой алюминия методом низкочастотного магнетронного распыления в атмосфере чистого, не менее 99,99%, аргона, после чего осуществляют вакуумный отжиг полученной двухслойной пленки при температуре 700°С. Технический результат заключается в упрощении технологии получения пленок, отсутствует агломерация магнитных наногранул, обеспечении возможности синтеза пленок с магнитными наногранулами заданного размера от единиц до сотни нанометров с малой дисперсностью магнитных наногранул. 2 ил., 1 пр./p
p num="24"FIELD: technological processes./p p num="25"SUBSTANCE: invention relates to a method for producing thin magnetic nanogranular films. Method comprises sequentially depositing a thin film of a ferromagnetic metal oxide onto a heat-resistant substrate and a layer of reducing metal at room temperature, followed by vacuum annealing of the resulting two-layer film. Layer of ferromagnetic metal oxide is applied by high-frequency magnetron sputtering of a metal cobalt target in the atmosphere from a mixture of gases consisting of 70 % argon and 30 % oxygen at room temperature. On the resulting layer, a layer of aluminum is deposited as a reduction metal by the method of low-frequency magnetron sputtering in an atmosphere of pure, not less than 99.99 %, argon, after which vacuum annealing of the resulting two-layer film is carried out at a temperature of 700 °C./p p num="26"EFFECT: technical result consists in simplifying the technology of film production, there is no agglomeration of magnetic nanogranules, providing the ability to synthesize films with magnetic nanogranules of a given size from one to hundreds of nanometers with a small dispersion of magnetic nanogranules./p p num="27"1 cl, 2 dwg, 1 ex/p

Год издания: 2018

Авторы: Волочаев Михаил Николаевич, Мягков Виктор Григорьевич, Жигалов Виктор Степанович, Быкова Людмила Евгеньевна, Тамбасов Игорь Анатольевич, Мацынин Алексей Александрович, Шестаков Николай Петрович

Авторский коллектив: Федеральное государственное бюджетное научное учреждение "Федеральный исследовательский центр "Красноярский научный центр Сибирского отделения Российской академии наук" (ФИЦ КНЦ СО РАН, КНЦ СО РАН)

Держатель оригинала документа: Федеральное государственное бюджетное научное учреждение "Федеральный исследовательский центр "Красноярский научный центр Сибирского отделения Российской академии наук" (ФИЦ КНЦ СО РАН, КНЦ СО РАН)

Количество экземпляров:

Твёрдая копия издания отсутствует в фонде библиотеки

Показать дополнительные сведения

Петлескоп для исследования тонких магнитных пленок

Беляев Борис Афанасьевич и др.
2020 год

Петлескоп для тонких магнитных пленок

Клешнина Софья Андреевна и др.
2025 год

СТРУКТУРНЫЕ ИССЛЕДОВАНИЯ ТОНКИХ НАНОГРАНУЛИРОВАННЫХ ПЛЕНОК Co-Al2O3, ПОЛУЧЕННЫХ МЕТОДОМ…

Волочаев М.Н. и др.
2017 год

Программа управления измерительной системой, предназначенной для получения спектров поглощения…

Бурмитских Антон Владимирович и др.
2020 год

Феррометр для тонких магнитных пленок

Клешнина Софья Андреевна и др.
2023 год

Устройство регистрации петель гистерезиса тонких магнитных пленок

Беляев Борис Афанасьевич и др.
2020 год

Устройство для измерения шумов тонких магнитных пленок в СВЧ-диапазоне

Бабицкий Александр Николаевич и др.
2023 год

ФЕРРОМЕТР ДЛЯ ИЗМЕРЕНИЯ ХАРАКТЕРИСТИК ТОНКИХ МАГНИТНЫХ ПЛЕНОК

Беляев Борис Афанасьевич и др.
2021 год

Устройство для измерения параметров тонких магнитных пленок методом ферромагнитного резонанса на…

Беляев Борис Афанасьевич и др.
2021 год

СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ МЕТАЛЛИЧЕСКИХ МАГНИТНЫХ ПОКРЫТИЙ

Чеканова Лидия Александровна и др.
2019 год

СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ АМОРФНЫХ МАГНИТНЫХ ПЛЕНОК Co-P

Кипарисов Семен Яковлевич и др.
2012 год

Cтатическая и динамическая проводимости аморфных наногранулированных пленок

Антонец И. В. и др.
2018 год

СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ АМОРФНЫХ МАГНИТНЫХ ПЛЕНОК Со-Р

Чжан Анатолий Владимирович и др.
2013 год

Способ получения аморфных пленок Со-Р на диэлектрической подложке

Подорожняк Сергей Александрович и др.
2017 год

СПОСОБ ИЗМЕРЕНИЯ МАГНИТНЫХ ХАРАКТЕРИСТИК ФЕРРОМАГНИТНЫХ ПЛЕНОК И УСТРОЙСТВО ДЛЯ ЕГО ОСУЩЕСТВЛЕНИЯ

Бабицкий Александр Николаевич и др.
2020 год

Структурные и магнитные характеристики однослойных и многослойных наногранулированных пленок Co…

Волочаев М.Н. и др.
2018 год

Библиотечно-издательский комплекс СФУ