Эллипсометрический контроль параметров многослойных наноструктур Fe/Si в процессе роста : научное издание

Тарасов Иван Анатольевич; Яковлев Иван Александрович; Варнаков Сергей Николаевич; Жарков Сергей Михайлович; Овчинников Сергей Геннадьевич

Дополнительные ссылки: РИНЦ

База данных: Каталог библиотеки СФУ

Библиографическое описание: Эллипсометрический контроль параметров многослойных наноструктур Fe/Si в процессе роста : научное издание / И. А. Тарасов [и др.]. - Текст : непосредственный // Космические аппараты и технологии. - 2018. - Т. 2, № 4. - С. 220-224. - ISSN 2618-7957, DOI 10.26732/2618-7957-2018-4-220-224. Перевод заглавия: Ellipsometric control of parameters of multilayer Fe/Si nanostructures during growth

Аннотация: С использованием метода одноволновой лазерной эллипсометрии in situ проведено исследование процесса формирования многослойной структуры [Si/Fe57/Fe56]3/SiO2/Si(100). Были получены сведения об оптических и структурных свойствах данной структуры. Изменение морфологии поверхности растущих слоев и их оптических характеристик оказываются неидентичными для случаев осаждения железа на поверхность слоя кремния и осаждения кремния на поверхность слоя железа. Полученные профили оптических постоянных свидетельствуют об увеличении толщины переходных слоев, содержащих твердые растворы «железо-кремний» и силициды. Характер изменения оптических постоянных усложняется с каждым последующим слоем железа, осаждаемым на поверхность кремния. Поведение профилей n и k, соответствующих формированию кремниевых слоев, имеет более простой характер по сравнению с поведением подобных профилей железа. Эти профили имеют лишь некоторые особенности на начальных этапах роста и соответствуют формированию аморфных слоев кремния. Полученные данные согласуются с данными просвечивающей электронной микроскопии.
Using in situ single-wave laser ellipsometry method, the formation of the [Si/Fe57/Fe56]3/SiO2/Si(100) multilayer structure was studied. Information about the optical and structural properties of this structure was obtained. The change in the morphology of the surface of the growing layers and their optical characteristics are not identical for the cases of iron deposition on the surface of the silicon layer and deposition of silicon on the surface of the iron layer. The refractive index and coefficient of absorption indicate an increase of the thickness of transition layers containing iron-silicon solid solutions and silicides. The nature of the change in the optical constants become more complicated with each subsequent iron layer deposited on the silicon surface. The behavior of n and k profiles corresponding to the formation of silicon layers is simpler than the behavior of similar iron profiles. These profiles have only some features at the initial stages of growth and correspond to the formation of amorphous silicon layers. The obtained data are consistent with the data of transmission electron microscopy.

Год издания: 2018

Авторы: Тарасов Иван Анатольевич , Яковлев Иван Александрович , Варнаков Сергей Николаевич , Жарков Сергей Михайлович , Овчинников Сергей Геннадьевич

Издательство: Ассоциация Технологическая платформа Национальная информационная спутниковая система, Железногорск

Источник: Космические аппараты и технологии

Выпуск: Т. 2, № 4

Номера страниц: 220-224

Держатель оригинала документа: Институт физики им. Л. В. Киренского СО РАН, ФИЦ КНЦ СО РАН, Сибирский федеральный университет

Количество экземпляров:

Твёрдая копия издания отсутствует в фонде библиотеки

Показать дополнительные сведения

Оптические и структурные свойства наноструктур Ag и c-Si, формирующихся в процессе металл… : статья из журнала

Жарова Ю. А. и др.
2019 год

Закономерности формирования фаз и свойства магнитных силицидов переходных металлов в планарных наноструктурах металл…

Варнаков Сергей Николаевич
2018 год

ИССЛЕДОВАНИЕ ПРОЦЕССОВ ЭПИТАКСИАЛЬНОГО РОСТА ГЕРМАНИЯ НА ПОВЕРХНОСТИ Fe3Si/Si(111) : доклад, тезисы доклада

Кошелев А.А. и др.
2023 год

Развитие методики эллипсометрического контроля параметров наноструктур Fe/Si в процессе роста : специальность 01.04…

Тарасов Иван Анатольевич
2014 год

Эффект спиновой аккумуляции в эпитаксиальной структуре Fe[3]Si/n-Si и влияние на него… : статья из журнала

Тарасов А. С. и др.
2020 год

Магнитные характеристики нанокластеров железа : научное издание

Квеглис Л. И. и др.
2021 год

DIFFERENT CONTRIBUTIONS DECOMPOSITION IN ELECTRON ENERGY LOSS SPECTRA OF Fe-Si SYSTEM : научное издание

Andryushchenko T. A.
2019 год

Changes of the Fermi Surface Topology in the Three-orbital Model for Iron Pnictides with the Spin… : научное издание

Ivanov Danil A. и др.
2023 год

Влияние напряженности постоянного магнитного поля на процесс фазообразования в состаренном… : статья из журнала

Осинская Ю. В. и др.
2022 год

High uniaxial magnetic anisotropy of the Fe1−xSix films synthesized by MBE : научное издание

Yakovlev I.A. и др.
2017 год

ИССЛЕДОВАНИЕ МЕТОДОМ ФМР МАГНИТНОЙ АНИЗОТРОПИИ ПЛЕНОК Fe3Si, ПОЛУЧЕННЫХ НА РАЗЛИЧНЫХ ПОДЛОЖКАХ… : научное издание

ЯКОВЛЕВ И.А. и др.
2017 год

ИССЛЕДОВАНИЕ СИЛИЦИДА FeSi МЕТОДАМИ ЭЛЕКТРОННОЙ СПЕКТРОСКОПИИ : научное издание

Игуменов А.Ю. и др.
2015 год

Influence of the size of iron nanoclusters on their magnetization : научное издание

Kveglis L.I. и др.
2022 год

Структура и свойства сплава Al–1% Ca–0.5% Fe–0.25% Si–0.5% Zr, полученного литьем в… : статья из журнала

Короткова Н.О. и др.
2021 год

Спин-орбитальное взаимодействие в пятиорбитальной модели ферропниктидов : научное издание

Иванов Д.А. и др.
2024 год

Порошковые магнитомягкие материалы системы Fe-Si-P, спеченные в азотном газе (96% N2+4% H2) : статья из журнала

Дорогина Г. А. и др.
2012 год

Библиотечно-издательский комплекс СФУ

Эллипсометрический контроль параметров многослойных наноструктур Fe/Si в процессе роста : научное издание
статья из журнала

Похожие публикации