1. Главная
  2. Ресурсы
  3. Библиотечный поиск
Формирование пористыхструктур на кремнии ссегнетоэлектриком дляэлементовмикроэлектроники имикросистемнойтехники емкостного… :научное издание Семенова О.В.Раилко М.Ю.Патрушева Т.Н.2017 год

Формирование пористых структур на кремнии с сегнетоэлектриком для элементов микроэлектроники и микросистемной техники емкостного типа : научное издание
статья из журнала

Дополнительные ссылки: РИНЦ
База данных: Каталог библиотеки СФУ
Библиографическое описание: Формирование пористых структур на кремнии с сегнетоэлектриком для элементов микроэлектроники и микросистемной техники емкостного типа : научное издание / О. В. Семенова [и др.]. - Текст : непосредственный // Химическая технология. - 2017. - № 10. - С. 443-449. - ISSN 1684-5811. Перевод заглавия: Formation of porous structures on silicon with ferroelectric intended for components of microelectronics and capacitance type microsystem devices
Аннотация: Представлены результаты экспериментальных исследований процесса формирования гетероструктур на основе пористого кремния с титанатом бария для элементов электроники и микросистемной техники емкостного типа. Изучена зависимость емкости и диэлектрической проницаемости от размерности пористой матрицы, количества наносимых слоев титаната бария, материала обкладок конденсаторной структуры.
Experimental study results of the formation process of heterostructures based on porous silicon with barium titanate and intended for components of microelectronics and capacitance type microsystem devices are presented. The dependences of capacitance and the dielectric constant on a porous matrix size, a number of deposited barium titanate layers, a capacitor plate material were studied.
Год издания: 2017
Авторы: Семенова О.В. , Раилко М.Ю. , Патрушева Т.Н. , Меркушев Ф.Ф. , Подорожняк С.А. , Юзова В.А. , Корец А.Я. , Холькин А.И.
Издательство: Общество с ограниченной ответственностью "Наука и технологии, Москва
Источник: Химическая технология
Выпуск: № 10
Номера страниц: 443-449
Держатель оригинала документа: Институт общей и неорганической химии им. Н. С. Курнакова РАН, Сибирский федеральный университет
Количество экземпляров:
Твёрдая копия издания отсутствует в фонде библиотеки

Похожие публикации

Влияние режимовобработкиконденсаторныхструктур на основепористого кремния исегнетоэлектрика наих… Семенова О.В.Патрушева Т.Н.Юзова В.А.2022 год

Влияние режимов обработки конденсаторных структур на основе пористого кремния и сегнетоэлектрика на… : научное издание

  • Семенова О.В. и др.
  • 2022 год
Конденсаторныеструктуры на основепористого кремния свнедреннымититанатамибария-стронция Семенова О.В.Патрушева Т.Н.Подорожняк С.А.2019 год

Конденсаторные структуры на основе пористого кремния с внедренными титанатами бария-стронция : научное издание

  • Семенова О.В. и др.
  • 2019 год
Формирование пористыхструктур на кремнии ссегнетоэлектриком дляэлементовмикроэлектроники имикросистемнойтехники… Семенова О. В.Раилко М. Ю.Патрушева Т. Н.2017 год

Формирование пористых структур на кремнии с сегнетоэлектриком для элементов микроэлектроники и… : статья из журнала

  • Семенова О. В. и др.
  • 2017 год
Фотолюминесценцияструктур на пористомкремнии, полученномэлектрохимическимтравлением соблучением в разных… Семенова О. В.Корец А. Я.Патрушева Т. Н.2024 год

Фотолюминесценция структур на пористом кремнии, полученном электрохимическим травлением с… : научное издание

  • Семенова О. В. и др.
  • 2024 год
Влияние режимовобработкиконденсаторныхструктур на основепористого кремния исегнетоэлектрика наих… Семенова О. В.Патрушева Т. Н.Юзова В. А.2022 год

Влияние режимов обработки конденсаторных структур на основе пористого кремния и сегнетоэлектрика… : статья из журнала

  • Семенова О. В. и др.
  • 2022 год
Фотолюминесценцияструктур на пористомкремнии с оксидомцинка, полученного спомощью растворнойтехнологии Семенова О. В.Корец А. Я.Патрушева Т. Н.2025 год

Фотолюминесценция структур на пористом кремнии с оксидом цинка, полученного с помощью растворной… : научное издание

  • Семенова О. В. и др.
  • 2025 год
Управлениефотолюминесценциейгибридных структур напористом кремнии соксидом цинка,полученнымэкстракционно… Семенова О. В.Корец А. Я.Подорожняк С. А.2025 год

Управление фотолюминесценцией гибридных структур на пористом кремнии с оксидом цинка, полученным… : научное издание

  • Семенова О. В. и др.
  • 2025 год
Forming PorousStructures on Siliconwith a Ferroelectricfor CapacitiveMicroelectronic andMicrosystemsEngineering… Semenova O.V.Railko M.Yu.Patrusheva T.N.2018 год

Forming Porous Structures on Silicon with a Ferroelectric for Capacitive Microelectronic and… : статья из журнала

  • Semenova O.V. и др.
  • 2018 год

Показать ещё

Porous SiliconCapacitor Structureswith Embedded BariumStrontium Titanates Semenova O.V.Patrusheva T.N.Podorozhnyak S.A.2020 год

Porous Silicon Capacitor Structures with Embedded Barium Strontium Titanates : статья из журнала

  • Semenova O.V. и др.
  • 2020 год
Пленки аморфного икристаллическогооксида никеля,полученныеэкстракционно-пиролитическим методом дляэлектрохромных… Белоусов А.Л.Патрушева Т.Н.Карачаров А.А.2019 год

Пленки аморфного и кристаллического оксида никеля, полученные экстракционно-пиролитическим… : статья из журнала

  • Белоусов А.Л. и др.
  • 2019 год
Изделиямикросистемнойтехники - термины иопределения,классификация иобозначения типов Вернер В.Д.Иванов А.А.Коломенская Н.Г.2008 год

Изделия микросистемной техники - термины и определения, классификация и обозначения типов : научное издание

  • Вернер В.Д. и др.
  • 2008 год
Исследованиереакционнойспособности структурыpor-Si/Pd поотношению к парамэтанола Силаков Г. О.Лазоркин Е. Н.Гаврилов С. А.2023 год

Исследование реакционной способности структуры por-Si/Pd по отношению к парам этанола : статья из журнала

  • Силаков Г. О. и др.
  • 2023 год
Экологическиепроблемы производстваи утилизацииэлектронных средств Патрушева Т.Н.Барашков В.А.Чурбакова О.В.2018 год

Экологические проблемы производства и утилизации электронных средств : научное издание

  • Патрушева Т.Н. и др.
  • 2018 год
Развитие технологииполучения иисследованияпористого кремния Юзова В.А.Левицкий А.А.Харлашин П.А.2011 год

Развитие технологии получения и исследования пористого кремния : статья из журнала

  • Юзова В.А. и др.
  • 2011 год
Формированиеструктуры каскадногосолнечного элементана основенанокомпозитной среды Шелованова Г.Н.Патрушева Т.Н.Авилов Н.E.2017 год

Формирование структуры каскадного солнечного элемента на основе нанокомпозитной среды : научное издание

  • Шелованова Г.Н. и др.
  • 2017 год
Формирование пористыхструктур на кремнии Семенова О.В.Юзова В.А.Меркушев Ф.Ф.2015 год

Формирование пористых структур на кремнии : статья из журнала

  • Семенова О.В. и др.
  • 2015 год