1. Главная
  2. Ресурсы
  3. Библиотечный поиск
ВЛИЯНИЕТЕХНОЛОГИЧЕСКИХПАРАМЕТРОВ ПОЛУЧЕНИЯТОНКИХ ПЛЕНОК а-С:ННА ИХ СТРУКТУРУ ИЭЛЕКТРОННЫЕ СВОЙСТВА Приходько О.Ю.Михайлова С.В.Манабаев Н.К.2016 год

ВЛИЯНИЕ ТЕХНОЛОГИЧЕСКИХ ПАРАМЕТРОВ ПОЛУЧЕНИЯ ТОНКИХ ПЛЕНОК а-С:Н НА ИХ СТРУКТУРУ И ЭЛЕКТРОННЫЕ СВОЙСТВА : научное издание
статья из журнала

Дополнительные ссылки: eLibrary
База данных: Каталог библиотеки СФУ
Библиографическое описание: ВЛИЯНИЕ ТЕХНОЛОГИЧЕСКИХ ПАРАМЕТРОВ ПОЛУЧЕНИЯ ТОНКИХ ПЛЕНОК а-С:Н НА ИХ СТРУКТУРУ И ЭЛЕКТРОННЫЕ СВОЙСТВА : научное издание / О. Ю. Приходько [и др.]. - Текст : непосредственный // Многоядерные процессоры, параллельное программирование, ПЛИС, системы обработки сигналов. - 2016. - Т. 1, № 6. - С. 219-226. - ISSN 2313-6111.
Аннотация: Проведены исследования по влиянию состава рабочего газа и температуры осаждения пленок а-С:Н на их структуру, оптические и электрические свойства. Структура пленок контролировалась методом рамановской спектроскопии. Оптимизация технологических параметров проводилась по доле sp<sup>3</sup> гибридизированных связей в структуре пленок и скорости их осаждения. Установлено, что при составе рабочего газа 96% аргона и 4% метана и температуре осаждения пленок - 50 °С доля sp<sup>3</sup> гибридизированных связей составляет 40% при скорости осаждения - 2.5 нм/мин. При этом пленки характеризуются высоким коэффициентом пропускания в видимой области спектра и элекропроводностью 5 10<sup>-9</sup> Ом
Год издания: 2016
Авторы: Приходько О.Ю. , Михайлова С.В. , Манабаев Н.К. , Мухаметкаримов Е.С. , Максимова С.Я. , Даутхан К.
Издательство: Алтайский государственный университет, Барнаул
Источник: Многоядерные процессоры, параллельное программирование, ПЛИС, системы обработки сигналов
Выпуск: Т. 1, № 6
Номера страниц: 219-226
Держатель оригинала документа: Научно-исследовательский институт экспериментальной и теоретической физики при Казахском национальном университете им. аль-Фараби
Количество экземпляров:
Твёрдая копия издания отсутствует в фонде библиотеки

Похожие публикации

Свойства и применение диэлектрических тонких пленок в технологиях микроэлектроники : учебное пособие

  • Васильев В. Ю.
  • 2021 год

Оптические свойства тонких диэлектрических пленок : учебное пособие

  • Твердохлеб П. Е. и др.
  • 2019 год
Оптические свойстватонких пленок CdS Петрусь Р. Ю.Ильчук Г. А.Кашуба А. И.2020 год

Оптические свойства тонких пленок CdS : статья из журнала

  • Петрусь Р. Ю. и др.
  • 2020 год

Оптические свойства тонких диэлектрических пленок : Учебное пособие

  • Твердохлеб Петр Васильевич
  • 2019 год
Электрическиесвойства тонкихпленок In[2]O[3]/С Бабкина И. В.Волочаев М. Н.Жилова О. В.2020 год

Электрические свойства тонких пленок In[2]O[3]/С : статья из журнала

  • Бабкина И. В. и др.
  • 2020 год
Получение итермочувствительныесвойства тонкихпленок на основекросс-сополимераN-изопропилакриламидаи акриламида Сопова Н. С.Тимошенко В. А.Боченков В. Е.2024 год

Получение и термочувствительные свойства тонких пленок на основе кросс-сополимера N… : статья из журнала

  • Сопова Н. С. и др.
  • 2024 год
МАГНИТОТРАНСПОРТНЫЕСВОЙСТВА ТОНКИХПЛЕНОК ОКСИДА ИНДИЯПРИ НИЗКИХТЕМПЕРАТУРАХ Тамбасов И.А.Тарасов А.С.Рауцкий М.В.2015 год

МАГНИТОТРАНСПОРТНЫЕ СВОЙСТВА ТОНКИХ ПЛЕНОК ОКСИДА ИНДИЯ ПРИ НИЗКИХ ТЕМПЕРАТУРАХ : статья из журнала

  • Тамбасов И.А. и др.
  • 2015 год
Магнитные свойства ифазовый состав тонкихпленок системы Со-Рd Артемьев E.М.Якимов Л.Е.2016 год

Магнитные свойства и фазовый состав тонких пленок системы Со-Рd : научное издание

  • Артемьев E.М. и др.
  • 2016 год

Показать ещё

Изучение параметровплазмы и скоростинанесения тонкихтитановых пленок прираспылении частиц вмагнетронном разряде… Sabavath G. K.Swaroop R.Singh J.2022 год

Изучение параметров плазмы и скорости нанесения тонких титановых пленок при распылении частиц в… : статья из журнала

  • Sabavath G. K. и др.
  • 2022 год
Электрофизическиесвойства тонкихпленокперфорированногографена,функционализированного карбонильнымигруппами Барков П. В.Слепченков М. М.Глухова О. Е.2024 год

Электрофизические свойства тонких пленок перфорированного графена, функционализированного… : статья из журнала

  • Барков П. В. и др.
  • 2024 год
Химические свойства иэлектронная структурапленок оксисульфидовмолибдена дляперспективныхфотоэлектрокатализаторов… Неволин Владимир НиколаевичРоманов Роман ИвановичФоминский Дмитрий Вячеславович2022 год

Химические свойства и электронная структура пленок оксисульфидов молибдена для перспективных… : статья из журнала

  • Неволин Владимир Николаевич и др.
  • 2022 год
Структурные,оптические итермоэлектрическиесвойства тонкихZnO:Al пленок,полученныхатомно-слоевымосаждением Тамбасов И.А.Волочаев М.Н.Воронин А.С.2019 год

Структурные, оптические и термоэлектрические свойства тонких ZnO:Al пленок, полученных атомно… : научное издание

  • Тамбасов И.А. и др.
  • 2019 год
Приготовление тонкихпленок CuSCN ивлияние потенциалаэлектроосаждения наихфотоэлектрохимическоеповедение Ван Ж.Чен Д.Ван Ф.2019 год

Приготовление тонких пленок CuSCN и влияние потенциала электроосаждения на их… : статья из журнала

  • Ван Ж. и др.
  • 2019 год
Структура и магнитныесвойства тонкихпленок гематита наподложках с-Al[2]O[3] Носов А. П.Субботин И. А.Чуев М. А.2025 год

Структура и магнитные свойства тонких пленок гематита на подложках с-Al[2]O[3] : статья из журнала

  • Носов А. П. и др.
  • 2025 год
Получение тонкихпленок теллуридависмута наполиимидных подложкахметодом импульсноголазерного осаждения Шупенев А. Е.Коршунов И. С.Григорьянц А. Г.2020 год

Получение тонких пленок теллурида висмута на полиимидных подложках методом импульсного лазерного… : статья из журнала

  • Шупенев А. Е. и др.
  • 2020 год
Электрическиесвойства тонкихполупроводниковыхпленок Sb[2]Se[3],полученныхэлектрохимическимспособом Меджидзаде В. А.Алиев А. Ш.Касумоглы И.2019 год

Электрические свойства тонких полупроводниковых пленок Sb[2]Se[3], полученных электрохимическим… : статья из журнала

  • Меджидзаде В. А. и др.
  • 2019 год