Структурные и оптические характеристики гетероструктур SiC/Si, полученных методом быстрой вакуумно-термической карбидизации кремния

Лобанок М. В.; Мухаммад А. И.; Гайдук П. И.

База данных: Каталог библиотеки СФУ (Л 680)

Библиографическое описание: Лобанок, М. В. Структурные и оптические характеристики гетероструктур SiC/Si, полученных методом быстрой вакуумно-термической карбидизации кремния / М. В. Лобанок, А. И. Мухаммад, П. И. Гайдук. - Текст : непосредственный // Журнал прикладной спектроскопии. - 2022. - Т. 89, № 2. - С. 204-209. - Библиогр.: с. 209 (17 назв. ). - ISSN 0514-7506.

Аннотация: Методами просвечивающей электронной микроскопии установлено, что быстрая вакуумнотермическая карбидизация кремния при 1100 °C приводит к формированию слоев кубического карбидa кремния (SiC). Полоса ИК-спектра пропускания при 798 см{-1}, соответствующая валентному колебанию Si-C, и максимум спектра комбинационного рассеяния 793 см{-1}, соотносимый с поперечной оптической фононной модой SiC, подтверждают формирование слоя кубического политипа SiC. Методом ИК-спектроскопии обнаружена полоса поглощения Si-O-Si 1100 см{-1}. Определена зависимость коэффициента пропускания от волнового числа.

Год издания: 2022

Авторы: Лобанок М. В. , Мухаммад А. И. , Гайдук П. И.

Источник: Журнал прикладной спектроскопии

Выпуск: Т. 89, № 2

Номера страниц: 204-209

Количество экземпляров:

Твёрдая копия издания отсутствует в фонде библиотеки

Показать дополнительные сведения

Оптические фононы в нанокристаллах InSb, ионно-синтезированных на границе раздела Si/SiO[2]… : статья из журнала

Чжан Ж. и др.
2025 год

Оптические свойства гибридных гетероструктур GaN/SiC/por-Si/Si(111) : статья из журнала

Середин П. В. и др.
2020 год

Оптические свойства, зонная структура и проводимость межфазной границы раздела гетероструктуры 3C… : статья из журнала

Кукушкин С. А. и др.
2020 год

Структурные и оптические свойства двумерных слоев Si и Ge, полученных методом молекулярно-лучевой… : статья из журнала

Зиновьев В. А. и др.
2022 год

Рост полупроводниковых III-V гетероструктур на подложках SiC/Si : статья из журнала

Шарофидинов Ш. Ш. и др.
2019 год

Метод управления полярностью слоев GaN при эпитаксиальном синтезе GaN/AlN гетероструктур на… : статья из журнала

Мизеров А. М. и др.
2019 год

Влияние нейтронного облучения на характеристики SiC- и Si-детекторов : статья из журнала

Гуров Ю. Б. и др.
2024 год

Influence of Rare Earth Yb{3+} Dopant on the Spectroscopic Properties of Manganese Ferrite… : статья из журнала

Gulati S. и др.
2024 год

Гетероструктура 2D SiC/Si: электронные состояния и адсорбционная способность : статья из журнала

Давыдов С. Ю. и др.
2020 год

Структурные, оптические и фотоэлектрические свойства кремния, имплантированного ионами индия и… : статья из журнала

Баталов Р. И. и др.
2024 год

Microstructural analysis of a glass dedicated to the radioactive waste confinement by raman and… : статья из журнала

Moudir D. и др.
2022 год

Релаксация механических напряжений в эпитаксиальных пленках кубического карбида кремния на… : статья из журнала

Гусев А. С. и др.
2021 год

Влияние толщины n-Si подложки и уровня ее легирования на поглощающие свойства кремниевых… : статья из журнала

Мухаммад А. И. и др.
2021 год

Влияние слоя нанопористого кремния на практическую реализацию и особенности эпитаксиального роста… : статья из журнала

Середин П. В. и др.
2020 год

Оптические свойства композитной структуры a-SiC:H/Ag/c-Si : статья из журнала

Пригода К. В. и др.
2025 год

Образование гексагональной фазы кремния 9R-Si при имплантации системы SiO[2]/Si ионами Kr{+} : статья из журнала

Никольская А. А. и др.
2023 год

Библиотечно-издательский комплекс СФУ

Структурные и оптические характеристики гетероструктур SiC/Si, полученных методом быстрой вакуумно-термической карбидизации кремния
статья из журнала

Похожие публикации