Модификация оптических характеристик пленок полиамида имплантацией ионов кобальта

Базаров В. В.; Бумай Ю. А.; Валеев В. Ф.; Головчук В. И.; Лукашевич М. Г.; Нуждин В. И.; Оджаев В. Б.; Харченко А. А.; Хайбуллин Р. И.

База данных: Каталог библиотеки СФУ (М 744)

Библиографическое описание: Модификация оптических характеристик пленок полиамида имплантацией ионов кобальта / В. В. Базаров, Ю. А. Бумай, В. Ф. Валеев [и др.]. - Текст : непосредственный // Журнал прикладной спектроскопии. - 2020. - Т. 87, № 3. - С. 448-453. - Библиогр.: с. 452-453 (18 назв. ). - ISSN 0514-7506.

Аннотация: Представлены спектральные зависимости коэффициентов пропускания и отражения в диапазоне длин волн 200-1100 нм пленок полиамида толщиной 40 мкм, имплантированных ионами кобальта с энергией 40 кэВ в интервале доз 2. 5 * 10{16}-1. 5 * 10{17}см {- 2} при плотности тока в ионном пучке 4 мкА/см2. Имплантация приводит к существенному (до 80 %) уменьшению пропускания имплантированными пленками и увеличению отражения как имплантированной, так и неимплантированной стороной вследствие карбонизации приповерхностного слоя и формирования в нем включений кобальта. В рамках двух- и трехслойной моделей, включающих в себя один или два модифицированных слоя и неповрежденную часть пленки, проведено моделирование прохождения света при падении на имплантированную и неимплантированную стороны и определена дозовая зависимость эффективного показателя преломления модифицированного слоя, который в исследуемом интервале доз изменяется в пределах 1. 3-2. 1.

Год издания: 2020

Авторы: Базаров В. В. , Бумай Ю. А. , Валеев В. Ф. , Головчук В. И. , Лукашевич М. Г. , Нуждин В. И. , Оджаев В. Б. , Харченко А. А. , Хайбуллин Р. И.

Источник: Журнал прикладной спектроскопии

Выпуск: Т. 87, № 3

Номера страниц: 448-453

Количество экземпляров:

Твёрдая копия издания отсутствует в фонде библиотеки

Показать дополнительные сведения

Спектры пропускания и отражения оксида цинка, имплантированного ионами кобальта с высокой дозой : статья из журнала

Бумай Ю. А. и др.
2019 год

Распыление поверхности кремния при низкоэнергетической высокодозовой имплантации ионами серебра : статья из журнала

Воробьев В. В. и др.
2020 год

Исследование приповерхностного слоя германия, имплантированного ионами кобальта : статья из журнала

Базаров В. В. и др.
2019 год

Постоперационный контроль технологических параметров процесса ионной имплантации методом вольт… : статья из журнала

Аникина Анна Андреевна и др.
2022 год

Комбинационное рассеяние света в кремнии с нарушенной кристаллической структурой за счет… : статья из журнала

Иго А. В.
2020 год

Изменение состояния поверхности монокристаллического германия в результате имплантации ионами… : статья из журнала

Гаврилова Т. П. и др.
2022 год

Влияние имплантации ионов Ag{2+} и C{+} на поверхностные физико-химические свойства полилактида,… : статья из журнала

Лапуть О. А. и др.
2019 год

Влияние имплантации ионов Вa{+} на состав, электронную и кристаллическую структуру поверхности W… : статья из журнала

Умирзаков Б. Е. и др.
2022 год

Модификация свойств поверхности свободных пленок Si-Cu имплантацией ионов активных металлов : статья из журнала

Исаханов З. А. и др.
2020 год

Фотолюминесценция в видимом спектральном диапазоне пленок SiO[2], имплантированных ионами In{+} и… : статья из журнала

Тысченко И. Е. и др.
2024 год

Имплантация ионов кремния в сапфир: малые дозы : статья из журнала

Белова Н. Е. и др.
2020 год

Модификация пленок диазохинон-новолачного фоторезиста имплантацией ионов сурьмы : статья из журнала

Бринкевич С. Д. и др.
2021 год

Диффузия ионов кобальта в натрийборосиликатном расплаве : статья из журнала

Рогачев В. В. и др.
2020 год

Образование дефектов в структурах GaAs с непокрытой и покрытой пленкой AlN поверхностями при… : статья из журнала

Соболев Н. А. и др.
2019 год

Формирование ферромагнитных слоев GaMnAs имплантацией ионов Mn в ускорителе с вакуумно-дуговым… : статья из журнала

Данилов Ю. А. и др.
2026 год

Модифицирование структурно-фазового состояния и механических свойств пленок Ti - C[60] - Ti,… : статья из журнала

Баран Л. В.
2022 год

Библиотечно-издательский комплекс СФУ

Модификация оптических характеристик пленок полиамида имплантацией ионов кобальта
статья из журнала

Похожие публикации