1. Главная
  2. Ресурсы
  3. Библиотечный поиск
Влияние режимовобработкиконденсаторныхструктур на основепористого кремния исегнетоэлектрика наих диэлектрическиепотери в ВЧ- иСВЧ-диапазонах Семенова О. В.Патрушева Т. Н.Юзова В. А.2022 год

Влияние режимов обработки конденсаторных структур на основе пористого кремния и сегнетоэлектрика на их диэлектрические потери в ВЧ- и СВЧ-диапазонах
статья из журнала

Заказать копию статьи
База данных: Каталог библиотеки СФУ (В 586)
Библиографическое описание: Влияние режимов обработки конденсаторных структур на основе пористого кремния и сегнетоэлектрика на их диэлектрические потери в ВЧ- и СВЧ-диапазонах / О. В. Семенова, Т. Н. Патрушева, В. А. Юзова [и др.]. - (Технология неорганических веществ и материалов). - Текст : непосредственный // Химическая технология. - 2022. - № 4. - С. 168-173. - Библиогр.: с. 173 (9 назв. ). - ISSN 1684-5811.
Аннотация: В высокочастотных приложениях в текущем десятилетии нынешнего века получили развитие конденсаторы с использованием кремниевых материалов и технологий. С целью уменьшения диэлектрических потерь кремниевых конденсаторов в области ВЧ- и СВЧ-диапазонов рассмотрена возможность создания конденсаторных структур на основе пористого кремния с внедренными в поры оксидными сегнетоэлектриками - титанатами бария и стронция, которые имеют размытый фазовый переход. Проведены исследования по созданию сегнетоэлектрических структур на основе матрицы пористого кремния с внедрением титаната бария и титаната стронция с помощью метода электрохимического анодирования и экстракционно-пиролитического метода. Проведены экспериментальные исследования диэлектрических потерь конденсаторных структур на основе матрицы пористого кремния с внедренным сегнетоэлектриком, которые показали возможность применения полученных конденсаторных структур в ВЧ- и СВЧ-диапазонах.
Год издания: 2022
Авторы: Семенова О. В. , Патрушева Т. Н. , Юзова В. А. , Лемберг К. В. , Раилко М. Ю. , Подорожняк С. А. , Холькин А. И.
Источник: Химическая технология
Выпуск: № 4
Номера страниц: 168-173
Количество экземпляров:
Твёрдая копия издания отсутствует в фонде библиотеки

Похожие публикации

Влияние режимовобработкиконденсаторныхструктур на основепористого кремния исегнетоэлектрика наих… Семенова О.В.Патрушева Т.Н.Юзова В.А.2022 год

Влияние режимов обработки конденсаторных структур на основе пористого кремния и сегнетоэлектрика на… : научное издание

  • Семенова О.В. и др.
  • 2022 год
Формирование пористыхструктур на кремнии ссегнетоэлектриком дляэлементовмикроэлектроники имикросистемнойтехники… Семенова О. В.Раилко М. Ю.Патрушева Т. Н.2017 год

Формирование пористых структур на кремнии с сегнетоэлектриком для элементов микроэлектроники и… : статья из журнала

  • Семенова О. В. и др.
  • 2017 год
Конденсаторныеструктуры на основепористого кремния свнедреннымититанатамибария-стронция Семенова О.В.Патрушева Т.Н.Подорожняк С.А.2019 год

Конденсаторные структуры на основе пористого кремния с внедренными титанатами бария-стронция : научное издание

  • Семенова О.В. и др.
  • 2019 год
Формирование пористыхструктур на кремнии ссегнетоэлектриком дляэлементовмикроэлектроники имикросистемнойтехники… Семенова О.В.Раилко М.Ю.Патрушева Т.Н.2017 год

Формирование пористых структур на кремнии с сегнетоэлектриком для элементов микроэлектроники и… : научное издание

  • Семенова О.В. и др.
  • 2017 год
Управлениефотолюминесценциейгибридных структур напористом кремнии соксидом цинка,полученнымэкстракционно… Семенова О. В.Корец А. Я.Подорожняк С. А.2025 год

Управление фотолюминесценцией гибридных структур на пористом кремнии с оксидом цинка, полученным… : статья из журнала

  • Семенова О. В. и др.
  • 2025 год
Формирование пористыхструктур на кремнии Семенова О. В.Юзова В. А.Меркушев Ф. Ф.2015 год

Формирование пористых структур на кремнии : статья из журнала

  • Семенова О. В. и др.
  • 2015 год
Формирование пористыхструктур на кремнии Меркушев Ф. Ф.Раилко М. Ю.Семенова О. В.2014 год

Формирование пористых структур на кремнии : статья из журнала

  • Меркушев Ф. Ф. и др.
  • 2014 год
Формирование пористыхструктур на кремнии Семенова О.В.Юзова В.А.Меркушев Ф.Ф.2015 год

Формирование пористых структур на кремнии : статья из журнала

  • Семенова О.В. и др.
  • 2015 год

Показать ещё

Формирование пористыхструктур на кремнии Меркушев Ф.Ф.Раилко М.Ю.Семенова О.В.2014 год

Формирование пористых структур на кремнии : статья из журнала

  • Меркушев Ф.Ф. и др.
  • 2014 год
Фотолюминесценцияструктур на пористомкремнии, полученномэлектрохимическимтравлением соблучением в разных… Семенова О. В.Корец А. Я.Патрушева Т. Н.2024 год

Фотолюминесценция структур на пористом кремнии, полученном электрохимическим травлением с… : статья из журнала

  • Семенова О. В. и др.
  • 2024 год
Управлениефотолюминесценциейгибридных структур напористом кремнии соксидом цинка,полученнымэкстракционно… Семенова О. В.Корец А. Я.Подорожняк С. А.2025 год

Управление фотолюминесценцией гибридных структур на пористом кремнии с оксидом цинка, полученным… : научное издание

  • Семенова О. В. и др.
  • 2025 год
Фотолюминесценцияструктур на пористомкремнии с оксидомцинка, полученного спомощью растворнойтехнологии Семенова О. В.Корец А. Я.Патрушева Т. Н.2025 год

Фотолюминесценция структур на пористом кремнии с оксидом цинка, полученного с помощью растворной… : статья из журнала

  • Семенова О. В. и др.
  • 2025 год
Фотолюминесценцияструктур на пористомкремнии, полученномэлектрохимическимтравлением соблучением в разных… Семенова О. В.Корец А. Я.Патрушева Т. Н.2024 год

Фотолюминесценция структур на пористом кремнии, полученном электрохимическим травлением с… : научное издание

  • Семенова О. В. и др.
  • 2024 год

Разработка пористых структур на кремнии : статья из журнала

  • Сакун Е. А. и др.
  • 2010 год
Фотолюминесценцияструктур на пористомкремнии с оксидомцинка, полученного спомощью растворнойтехнологии Семенова О. В.Корец А. Я.Патрушева Т. Н.2025 год

Фотолюминесценция структур на пористом кремнии с оксидом цинка, полученного с помощью растворной… : научное издание

  • Семенова О. В. и др.
  • 2025 год
Повышениедиэлектрическиххарактеристиккерамики всантиметровомСВЧ-диапазоне путемструктурноймодификации… Чухланов В. Ю.Селиванов О. Г.Сысоев Э. П.2016 год

Повышение диэлектрических характеристик керамики в сантиметровом СВЧ-диапазоне путем структурной… : статья из журнала

  • Чухланов В. Ю. и др.
  • 2016 год