1. Главная
  2. Ресурсы
  3. Библиотечный поиск

Материалы и элементы электронной техники : Расчет режимов термического окисления и диффузии при формировании легированных слоев : практикум

Полный текст
Доступ к полному тексту через электронную библиотечную систему «Лань».
База данных: Каталог библиотеки СФУ
Библиографическое описание: Полисан, А. А. Материалы и элементы электронной техники : Расчет режимов термического окисления и диффузии при формировании легированных слоев : практикум / А. А. Полисан, В. П. Астахов. - Москва : МИСИС, 2007. - 16 с. - . Книга из коллекции МИСИС - Инженерно-технические науки. Рекомендовано редакционно-издательским советом университета
Аннотация: В практикуме рассматриваются принципы расчета режимов термического окисления, обеспечивающего заданную толщину маскирующей оксидной пленки, и режимов диффузии при формировании легированных слоев с заданными параметрами для кремниевых приборных структур. Излагается методика расчетов в программе Math Cad 2001. Соответствует программе курса «Материалы и элементы электронной техники». Предназначен для студентов, обучающихся по специальностям 150601 «Материаловедение и технология новых материалов» и 210104 «Микроэлектроника и твердотельная электроника».
Год издания: 2007
Авторы: Полисан А. А., Астахов В. П.
Издательство: МИСИС, Москва
Количество страниц: 16
Количество экземпляров:
Издание имеется только в электронном виде

Цифровые и тематические книжные коллекции издания

Похожие публикации

Материалы и элементы электронной техники

  • Крутогин Д. Г.
  • 2006 год
Автоматизированные расчеты магнитных полей Прядилов А. В.Назаров Р. И.2015 год

Автоматизированные расчеты магнитных полей

  • Прядилов А. В. и др.
  • 2015 год

Электрические методы исследования разрывов энергетических зон в полупроводниковых микро- и…

  • Литвинов В. Г. и др.
  • 2013 год

Методы коррозионных исследований и испытаний : коррозионный мониторинг оборудования в процессе…

  • Бардин И. В.
  • 2015 год

Методы исследования материалов и структур в электронике. Рентгеновская дифракционная микроскопия

  • Бублик В. Т. и др.
  • 2006 год
Дифракционные методыизучения материалов иприборных структур.Рентгеновскаярефлектометрия Бублик В. Т.Щербачев К. Д.Воронова М. И.2016 год

Дифракционные методы изучения материалов и приборных структур. Рентгеновская рефлектометрия

  • Бублик В. Т. и др.
  • 2016 год

Электрические методы исследования разрывов энергетических зон в полупроводниковых микро- и нано-…

  • Литвинов В. Г. и др.
  • 2009 год

Электротехника, электроника и схемотехника ЭВМ. Линейные электрические цепи

  • Бабичев Ю. Е.
  • 2017 год

Показать ещё