1. Главная
  2. Ресурсы
  3. Библиотечный поиск

Расчеты параметров взаимодействия ускоренных ионов с твердым телом : учебно-методическое пособие

Полный текст
Доступ к полному тексту через электронную библиотечную систему «Лань».
База данных: Каталог библиотеки СФУ
Библиографическое описание: Кузнецов, Г. Д. Расчеты параметров взаимодействия ускоренных ионов с твердым телом : учебно-методическое пособие / Г. Д. Кузнецов. - Москва : МИСИС, 2005. - 56 с. - . Книга из коллекции МИСИС - Инженерно-технические науки
Аннотация: В данном пособии приводятся расчеты взаимодействия ускоренных ионов с твердым телом. Обсуждаются закономерности упругих и неупругих потерь энергии ионом при взаимодействии с атомами и электронами твердого тела материалов электронной техники. Рассматриваются типовые источники ионов, применяемые в технологии электронной техники. Анализируются области проявления таких эффектов взаимодействия, как распыление, дефектообразование и внедрение ионов. По всем рассматриваемым темам приводятся примеры практических расчетов и графические зависимости параметров взаимодействия ионов с полупроводниковыми и металлическими материалами. Пособие соответствует программе курса «Основы высоких технологий». Предназначено для студентов, обучающихся по направлению 654100 (550700) и специальности 210104 (200100), при выполнении домашних заданий и решении задач на практических занятиях
Год издания: 2005
Авторы: Кузнецов Г. Д.
Издательство: МИСИС, Москва
Количество страниц: 56
Количество экземпляров:
Издание имеется только в электронном виде

Цифровые и тематические книжные коллекции издания

Похожие публикации

Физика взаимодействия ускоренных ионов, электронов и атомов с веществом. Ускоренные электроны

  • Кузнецов Г. Д.
  • 2012 год

Элионная теория в микро- и наноиндустрии.Ускоренные ионы

  • Кузнецов Г. Д.
  • 2012 год

Радиационные эффекты в кремниевых интегральных схемах космического применения

  • Таперо К. И.
  • 2011 год

Физическая электроника. Эмиссия и взаимодействие частиц с твердым телом

  • Владимиров Г. Г.
  • 2022 год

Микро- и нанотехнологии пленочных гетерокомпозиций

  • Кузнецов Г. Д. и др.
  • 2008 год

Вакуумная и плазменная электроника

  • Кузнецов Г. Д. и др.
  • 2005 год

Вакуумная и плазменная электроника

  • Курочка С. П. и др.
  • 2009 год

Металлургия железа в истории цивилизации

  • Черноусов П. И. и др.
  • 2006 год

Показать ещё