1. Главная
  2. Ресурсы
  3. Библиотечный поиск

Компьютерное моделирование нанотехнологий, наноматериалов и наноструктур: математическое моделирование фотолитографических процессов и процессов электронной литографии при создании субмикронных структур и структур с нанометровыми размерами : курс лекций

Полный текст
Доступ к полному тексту через электронную библиотечную систему «Лань».
База данных: Каталог библиотеки СФУ
Библиографическое описание: Юрчук, С. Ю. Компьютерное моделирование нанотехнологий, наноматериалов и наноструктур: математическое моделирование фотолитографических процессов и процессов электронной литографии при создании субмикронных структур и структур с нанометровыми размерами : курс лекций / С. Ю. Юрчук. - Москва : МИСИС, 2013. - 45 с. - ISBN 978-5-87623-662-3. Книга из коллекции МИСИС - Инженерно-технические науки
Аннотация: Курс лекций описывает основные математические модели фотолитографии и электронной литографии, используемых при создании субмикронных структур. Приведены модели отдельных процессов фотолитографии: формирование изображения в фоторезисте, экспонирование, травление фоторезиста. Показаны ограничения, которые накладываются на процесс фотолитографии. Приведена теория электронной эмиссии, используемая для моделирования формирования электронного пучка. Описан эффект близости, который вносит ограничения в точность формирования изображения при электронной литографии. Показаны способы коррекции эффекта близости. Предназначен для студентов, обучающихся в магистратуре по направлению 210100 «Электроника и наноэлектроника»
Год издания: 2013
Авторы: Юрчук С. Ю.
Издательство: МИСИС, Москва
Количество страниц: 45
Количество экземпляров:
Издание имеется только в электронном виде

Цифровые и тематические книжные коллекции издания

Похожие публикации

Компьюторное моделирование нанотехнологий, наноматериалов и наноструктур. Математическое…

  • Юрчук С. Ю.
  • 2013 год

Компьютерное моделирование нанотехнологий, наноматериалов и наноструктур

  • Юрчук С. Ю.
  • 2013 год

Молекулярно-пучковая и МОС-гидридная технологии: методы формирования наноструктурированных…

  • Курочка С. П. и др.
  • 2015 год

Технология производства и контроль качества наноматериалов и наноструктур

  • Капустин Владимир Иванович и др.
  • 2022 год

Технология производства и контроль качества наноматериалов и наноструктур

  • Капустин В.И. и др.
  • 2019 год

Моделирование процессов и объектов в металлургии. Моделирование и оптимизация процессов листовой…

  • Кучеряев Б. В. и др.
  • 2009 год

Моделирование процессов и систем

  • Сосулин Ю. А.
  • 2020 год

Математическое моделирование систем и процессов на транспорте

  • Карасев С. В. и др.
  • 2020 год

Показать ещё

Компьютерное моделирование нанотехнологий, наноматериалов и наноструктур. Диффузия

  • Осипов Ю. В.
  • 2011 год

Моделирование процессов и объектов в металлургии. Ч. 1. Моделирование и оптимизация…

  • Кучеряев Б. В. и др.
  • 2004 год

Компьюторное моделирование нанотехнологий, наноматериалов и наноструктур. Моделирование…

  • Юрчук С. Ю.
  • 2013 год

Проектирование и технология электронной компонентной базы: полупроводниковые приемники излучений

  • Леготин С. А. и др.
  • 2018 год

Основы радиационной стойкости изделий электронной техники

  • Таперо К. И. и др.
  • 2013 год

Физико-химия наночастиц, наноматериалов и наноструктур

  • Барыбин Анатолий Андреевич и др.
  • 2011 год

Математическое моделирование процесса испытаний асинхронных машин методом взаимной нагрузки

  • Харламов В. В. и др.
  • 2019 год

Химическая физика процессов формирования и превращений наноструктур и наносистем. Т. 2….

  • Кодолов В. И. и др.
  • 2009 год