1. Главная
  2. Ресурсы
  3. Библиотечный поиск

Методы и оборудование контроля параметров технологических процессов производства наногетероструктур и наногетероструктурных монолитных интегральных схем
учебно-методический материал

Полный текст на внешнем сайте
Доступ к полному тексту через электронную библиотечную систему «Лань».
База данных: Каталог библиотеки СФУ
Библиографическое описание: Смирнов, С. В. Методы и оборудование контроля параметров технологических процессов производства наногетероструктур и наногетероструктурных монолитных интегральных схем : учебное пособие / Смирнов С. В. - Москва : ТУСУР, 2010. - 115 с. - Б. ц. - Текст : непосредственный.
Аннотация: Изложены описания основных современных методов исследования и диагностического оборудования для контроля параметров технологических процессов производства наногетероструктур и наногетероструктурных монолитных интегральных схем. Раскрыты возможности этих методов. Показано, каким образом совместное использование нескольких методов позволяет получить достоверную информацию о физических свойствах исследуемых структур. Для слушателей программы переподготовки в области промышленного производства наногетероструктурных монолитных интегральных схем СВЧ-диапазона и дискретных полупроводниковых приборов, а также для студентов специальностей 210104 «Микроэлектроника и твердотельная электроника» и 210600 «Нанотехнология».
Год издания: 2010
Авторы: Смирнов С. В.
Издательство: ТУСУР, Москва
Количество страниц: 115
Количество экземпляров:
Издание имеется только в электронном виде

Цифровые и тематические книжные коллекции издания

Похожие публикации

Диагностирование интегральных схем по параметрам нелинейности характеристик энергопотребления

  • Сазонов С. Н.
  • 2022 год

Средства автоматического контроля технологических параметров

  • Сажин С. Г.
  • 2022 год

Средства автоматического контроля технологических параметров

  • Сажин С. Г.
  • 2022 год

Средства автоматического контроля технологических параметров

  • Сажин С. Г.
  • 2022 год

Архитектура и технология сверхбольших интегральных схем

  • Прищепа С. Л.
  • 2024 год

Физические основы проектирования кремниевых цифровых интегральных микросхем в монолитном и…

  • Попов В. Д. и др.
  • 2022 год

Методы и средства измерительного контроля силовых параметров снегоочистительного оборудования с…

  • Ганжа В. А. и др.
  • 2020 год

Моделирование и проектирование СВЧ монолитных интегральных схем

  • Сальников А. С. и др.
  • 2023 год

Показать ещё

Конструкции и расчеты технологического оборудования металлургического производства

  • Донцова Татьяна Валентиновна и др.
  • 2011 год

Приборы для контроля и управления технологическими процессами

  • Половнева С. И. и др.
  • 2020 год

Введение в направление «Технологические машины и оборудование»

  • Руднев С. Д. и др.
  • 2016 год

Техническая диагностика технологических машин и оборудования

  • Чиченев Н. А.
  • 2022 год

Методы и возможности in-line контроля тонкопленочных материалов в производстве субмикронных…

  • Васильев В. Ю.
  • 2023 год

Теплофизика и гидравлика в технологических системах нефтегазового оборудования

  • Некрасов Р. Ю. и др.
  • 2014 год

Технологическое оборудование пищевых производств. Курсовое и дипломное проектирование

  • Поперечный А. Н. и др.
  • 2016 год

Геометрические параметры исполнительных устройств приводов технологического оборудования на базе…

  • Меснянкин М. В.
  • 2013 год