1. Главная
  2. Ресурсы
  3. Библиотечный поиск

Элионная теория в микро- и наноиндустрии.Ускоренные ионы

Полный текст на внешнем сайте
Доступ к полному тексту через электронную библиотечную систему «Лань».
База данных: Каталог библиотеки СФУ
Библиографическое описание: Кузнецов, Г. Д. Элионная теория в микро- и наноиндустрии.Ускоренные ионы / Г. Д. Кузнецов. - Москва : МИСИС, 2012. - ISBN 978-5-87623-556-5. Рекомендовано редакционно-издательским советом университета
Аннотация: "В учебном пособии рассматриваются в основном практические результаты по изменению параметров приповерхностных слоев материалов электронной техники ионным внедрением примесей. Приводятся результаты по особенностям распределения внедренной примеси в аморфных и кристаллических материалах и их теоретическое обоснование. Анализируются результаты по легированию приповерхностных слоев с использованием так называемых атомов отдачи при ионном внедренииСоответствует программе курса «Элионная технология в микро- и наноиндустрии». Предназначено для магистров, специализирующихся по направлениям «Электроника и наноэлектроника» и «Нанотехнология и микросистемная техника», и может быть полезно обучающимся по направлению «Наноматериалы»."
Год издания: 2012
Авторы: Кузнецов Г. Д.
Издательство: МИСИС, Москва
Количество экземпляров:
Издание имеется только в электронном виде

Цифровые и тематические книжные коллекции издания

Похожие публикации

Физика взаимодействия ускоренных ионов, электронов и атомов с веществом. Ускоренные электроны

  • Кузнецов Г. Д.
  • 2012 год

Электроны и ионы в электронике

  • Строкин Н. А.
  • 2021 год

Физика. Ускоренное обучение

  • Черных Л. М. и др.
  • 2013 год

Совершенствование методов ускоренных испытаний автомобильных двигателей в условиях эксплуатации

  • Доровских Д. В. и др.
  • 2020 год

Расчеты параметров взаимодействия ускоренных ионов с твердым телом

  • Кузнецов Г. Д.
  • 2005 год

Система физической подготовки студентов вузовской и допризывной молодежи. Преодоление препятствий…

  • Куршев А. В. и др.
  • 2017 год

Введение в современную микро- и наносистемную технику

  • Гридчин Александр Викторович
  • 2024 год

Инкапсулирование биологически активных веществ в полимерные микро- и наночастицы для систем с…

  • Жаворонок Е. С. и др.
  • 2025 год

Показать ещё

Экстракция германия из сернокислых растворов в присутствии роданид-иона

  • Григорьева Н. А. и др.
  • 2020 год

Сравнение сорбционной ёмкости по ионам лития графитовых и фуллерен-литиевых анодов

  • Леонова Т. А. и др.
  • 2013 год

Плазменные процессы в наноэлектронике, микро- и наносистемной технике

  • Голишников А. А. и др.
  • 2022 год

Электрические методы исследования разрывов энергетических зон в полупроводниковых микро- и…

  • Литвинов В. Г. и др.
  • 2013 год
Введение в процессыинтегральных микро- инанотехнологий. Т. 2.Технологическиеаспекты Акуленок Марина ВикторовнаАндреев Владимир МихайловичГромов Дмитрий Геннадьевич2014 год

Введение в процессы интегральных микро- и нанотехнологий. Т. 2. Технологические аспекты

  • Акуленок Марина Викторовна и др.
  • 2014 год
Ускоренноесозревание: польза ипроблемы Кашина Е. Д.2023 год

Ускоренное созревание: польза и проблемы

  • Кашина Е. Д.
  • 2023 год
Алгоритмы ускоренногорасчета координат вугломерных системах Уфаев В. А.Уфаев А. В.Уфаев Д. В.2013 год

Алгоритмы ускоренного расчета координат в угломерных системах

  • Уфаев В. А. и др.
  • 2013 год
Крупа из полбытрадиционного иускоренногоприготовления Степаненко Дмитрий СергеевичВолкова Ольга ВладимировнаПолитуха Ольга Владимировна2025 год

Крупа из полбы традиционного и ускоренного приготовления

  • Степаненко Дмитрий Сергеевич и др.
  • 2025 год