1. Главная
  2. Ресурсы
  3. Библиотечный поиск

Современные методы высоковакуумного напыления и плазменной обработки тонкопленочных металлических структур : электронное учебно-методическое пособие

Полный текст на внешнем сайте
Доступ к полному тексту через электронную библиотечную систему «Лань».
База данных: Каталог библиотеки СФУ
Библиографическое описание: Вдовичев, С. Н. Современные методы высоковакуумного напыления и плазменной обработки тонкопленочных металлических структур : электронное учебно-методическое пособие / Вдовичев С. Н. - Нижний Новгород : ННГУ им. Н. И. Лобачевского, 2012. - 60 с. - Б. ц. - Текст : непосредственный.
Аннотация: В учебно-методическом пособии рассматриваются современные базовые методы нанотехнологий металлической наноэлектроники - напыление в вакууме и вакуумная плазмохимическая обработка тонкопленочных структур. Излагаются основы вакуумной техники, необходимые для работы на современных напылительных установках. Приведены схемы компоновки вакуумных систем и изложены принципы построения вакуумных систем. Изложены современные методы нанесения тонких пленок и основы теории механизма роста пленок напыляемого материала на подложке. Электронное учебно-методическое пособие предназначено для студентов ННГУ, обучающихся по направлению подготовки 011800.62 «Радиофизика», профиль «Электроника, микро- и наноэлектроника» и профиль «Квантовая радиофизика и квантовая электроника», проходящих курс Учебно-научного эксперимента, и по направлению подготовки 011800.68 «Радиофизика», магистерская программа «Физическая электроника», изучающих курсы «Физика сверхпроводников» и «Физика магнетизма».
Год издания: 2012
Авторы: Вдовичев С. Н.
Издательство: ННГУ им. Н. И. Лобачевского, Нижний Новгород
Количество страниц: 60
Количество экземпляров:
Издание имеется только в электронном виде

Цифровые и тематические книжные коллекции издания

Похожие публикации

Плазменно-электролитный метод обработки материалов

  • Ахатов М. Ф.
  • 2018 год

Современные методы электролитно-плазменного воздействия на материалы и изделия

  • Гайсин А. Ф. и др.
  • 2019 год

Плазменные покрытия (методы и оборудование)

  • Кривобоков В. П. и др.
  • 2011 год

Технологический процесс восстановления изношенных деталей машин методами газотермического напыления

  • Зверев Е. А.
  • 2019 год

Методы обработки данных

  • Хуснуллин И. Х.
  • 2024 год

Методы проектирования металлических и деревянных конструкций

  • Серёгин Н. Г. и др.
  • 2022 год

Методы и возможности in-line контроля тонкопленочных материалов в производстве субмикронных…

  • Васильев В. Ю.
  • 2023 год

Методы обработки отверстий

  • Фоминых В. В. и др.
  • 2015 год

Показать ещё