1. Главная
  2. Ресурсы
  3. Библиотечный поиск
×

Сообщение об ошибке

Электронный каталог библиотеки временно недоступен, поэтому сведения могут отсутствовать, быть неполными или устаревшими.
Компьюторноемоделированиенанотехнологий,наноматериалов инаноструктур.Математическоемоделированиефотолитографическихпроцессов и процессовэлектронной… Юрчук С. Ю.2013 год

Компьюторное моделирование нанотехнологий, наноматериалов и наноструктур. Математическое моделирование фотолитографических процессов и процессов электронной литографии при создании субмикронных структур и структур с нанометровыми размерами. Курс лекций

База данных: Каталог библиотеки СФУ
Аннотация: Курс лекций описывает основные математические модели фотолитографии и электронной литографии, используемых при создании субмикронных структур. Приведены модели отдельных процессов фотолитографии: формирование изображения в фоторезисте, экспонирование, травление фоторезиста. Показаны ограничения, которые накладываются на процесс фотолитографии. Приведена теория электронной эмиссии, используемая для моделирования формирования электронного пучка. Описан эффект близости, который вносит ограничения в точность формирования изображения при электронной литографии. Показаны способы коррекции эффекта близости. Предназначен для студентов, обучающихся в магистратуре по направлению 210100 «Электроника и наноэлектроника».
Год издания: 2013
Авторы: Юрчук С. Ю.

Похожие публикации

Компьютерное моделирование нанотехнологий, наноматериалов и наноструктур

  • Юрчук С. Ю.
  • 2013 год

Компьюторное моделирование нанотехнологий, наноматериалов и наноструктур. Моделирование…

  • Юрчук С. Ю.
  • 2013 год

Компьютерное моделирование нанотехнологий, наноматериалов и наноструктур

  • Юрчук С. Ю.
  • 2013 год

Компьютерное моделирование нанотехнологий, наноматериалов и наноструктур. Диффузия

  • Осипов Ю. В.
  • 2011 год

Моделирование процесса литья композиционного материала Cu–MMNCr в металлическую форму с…

  • Бусыгин С. Л. и др.
  • 2024 год
Применениекомпьютерныхтехнологий длямоделированияпроцессовформирования пористойструктуры пеностекла Яценко Е. А.Гольцман Б. М.Яценко Л. А.2017 год

Применение компьютерных технологий для моделирования процессов формирования пористой структуры…

  • Яценко Е. А. и др.
  • 2017 год
Моделированиетепловых процессовдля улучшенияструктуры металлов исплавов методомтрения сперемешиванием Майстренко А. Л.Нестеренков В. М.Дутка В. А.2015 год

Моделирование тепловых процессов для улучшения структуры металлов и сплавов методом трения с…

  • Майстренко А. Л. и др.
  • 2015 год
Моделированиеструктуры, свойств ипроцессов межфазноговзаимодействия всистемеметалл-оксидныйрасплав-газ Бороненков ВладиславНиколаевичЗиниград Михаил ИосифовичЛеонтьев Леопольд Игоревич2010 год

Моделирование структуры, свойств и процессов межфазного взаимодействия в системе металл-оксидный…

  • Бороненков Владислав Николаевич и др.
  • 2010 год

Показать ещё