Разработка ивнедрение технологииполучениялегированных изгазовой фазымонокристалловкремния методомбестигельной зонной…: отчет о НИР(заключит.) Леонов Виктор Васильевич1985 год

Разработка и внедрение технологии получения легированных из газовой фазы монокристаллов кремния методом бестигельной зонной плавки : отчет о НИР (заключит.)
научное издание

Похожие публикации

Показать ещё