1. Главная
  2. Ресурсы
  3. Библиотечный поиск
  4. Журнал Сибирского федерального университета. Техника и технологии
  5. Выпуск 2013 г. Том 6. № 4

Разработка технологии формирования многокомпонентных приборных композиций на основе пористого кремния
статья из журнала

Полный текстЗаказать копию статьи
База данных: Каталог библиотеки СФУ (З-913)
Библиографическое описание: Зубко, Е. И. Разработка технологии формирования многокомпонентных приборных композиций на основе пористого кремния = Development of Technology of Mylticomponent Instrument Composition Formation on the Basis of Porous Silicon / Е. И. Зубко, Е. Я. Швец. - Текст : непосредственный // Журнал Сибирского федерального университета. Техника и технологии. - 2013. - Т. 6, № 4. - С. 474-482 : рис., табл. - Библиогр.: с. 481-482. - ISSN 1999-494X.
Аннотация: Развитие полупроводниковой электроники тесно связано с поиском новых материалов. К таким материалам относятся многокомпонентные электронные приборные композиции на основе пористого кремния, в частности нанокомпозиты на основе пористого кремния. В данной статье была разработана аппаратурно-технологическая схема формирования электронных приборных композиций РсCu/ПК/n-Sі и РсAl/ПК/n- Sі. В статье приведены данные относительно технологической адаптации условий осаждения и отжига образцов. Исследовано влияние отжига на морфологические, электрические, электрофизические свойства полученных композиций. Разработана аппаратурно-технологическая схема формирования электронных приборных композиций РсCu/ПК/n-Sі и РсAl/ПК/n- Sі. Приведены данные относительно технологической адаптации условий осаждения и отжига образцов. Исследовано влияние отжига на морфологические, электрические, электрофизические свойства полученных композиций.
Год издания: 2013
Авторы: Зубко Е. И. , Швец Е. Я.
Источник: Журнал Сибирского федерального университета. Техника и технологии
Выпуск: Т. 6, № 4
Номера страниц: 474-482
Количество экземпляров:

Всего свободно 4 из 4 экземпляров.

  • Информационно-библиографический отдел (пр. Свободный, 79, к. Б3-09): свободно 1 из 1 экземпляров
  • Отдел формирования информационно-библиотечных ресурсов (пр. Свободный, 79, к. Б2-20): свободно 1 из 1 экземпляров
  • Абонемент научной литературы (пр. Свободный, 79, 3 этаж, холл): свободно 1 из 1 экземпляров
  • Читальный зал военных наук (Академгородок, 13А, к. 1-01): свободно 1 из 1 экземпляров