Нанесение иисследование свойствкерамического слояТЗП, полученногомагнетроннымраспылением Будиновский С. А.Чубаров Д. А.Матвеев П. В.2019 год

Нанесение и исследование свойств керамического слоя ТЗП, полученного магнетронным распылением
статья из журнала