Библиографическое описание:Нанесение и исследование свойств керамического слоя ТЗП, полученного магнетронным распылением / С. А. Будиновский [и др.]. - (Технология упрочнений и покрытий). - Текст : непосредственный // Электрометаллургия. - 2019. - № 2. - С. 27-32 : 3 рис., 2 табл. - Библиогр.: с. 32 (5 назв. ). - ISSN 1684-5781.
Аннотация:Рассмотрены особенности процесса нанесения керамического слоя ТЗП на опытно-промышленной установке ФГУП "ВИАМ" магнетронным методом среднечастотного распыления мишеней. Исследована микроструктура керамики и проведены микрорентгеноспектральный и рентгенофазовый анализы полученного покрытия.