Библиографическое описание:Материалы микросистемной техники [Электронный ресурс] : учеб.-метод. пособие для лаб. работ для студентов спец. 210108.65, 210100.68 / Сиб. федерал. ун-т; сост. В. А. Юзова. - Электрон. дан. (PDF, 17,4 Мб). - Красноярск : СФУ, 2012 - . - Загл. с титул. экрана. - Текст : электронный. Ч. 1 : Кремниевые нанокомпозиты / Сиб. федер. ун-т, Ин-т инженер. физики и радиоэлектроники. - 2012. - Библиогр.: с. 84
Аннотация:Приведены три лабораторные работы по созданию и исследованию нанокомпозитов на основе кремниевых пористых матриц, в которых изложены все необходимые сведения по подготовке, выполнению лабораторных работ и оформлению отчетов. Предназначено: по кодификатору ГОС ВПО-2 для студентов специальности 210108.65 «Микросистемная техника, для направлений подготовки магистров 210100.68 «Электроника и микроэлектроника» по кодификатору ФГОС ВПО-3 для направлений подготовки магистров 210100.68 «Электроника и наноэлектроника».
