Библиографическое описание:Микро- и нанотехнологии : учеб.-метод. пособие [для магистров и аспирантов по курсу «микро- и нанотехнологии»] / Сиб. федерал. ун-т ; сост. Т. Н. Патрушева. - Электрон. текстовые дан. (PDF, 1 Мб). - Красноярск : СФУ, 2013. - (Магистратура). - Загл. с титул. экрана. - Библиогр. в конце разд. - Изд. № 2013-387 : Б. ц. - Текст : электронный.
Аннотация:В учебно-методическом пособии рассмотрены методы получения наноструктурированных оксидных и металлических пленок из истинных и коллоидных растворов, таких как золь-гель, экстракционно-пиролитический, химический и электрохимические методы металлизации. Представлены особенности методов, порядок формировапния тонких нанопокрытий и методы исследования. Предназначено для студентов Института инженерной физики и радиоэлектроники СФУ, магистрам и аспирантам по курсу «микро- и нанотехнологии», а также инженерам, специалистам и ученым, работающим в области технологии тонких пленок.
