1. Главная
  2. Ресурсы
  3. Библиотечный поиск
  4. Журнал «Заводская лаборатория. Диагностика материалов»
  5. Выпуск 2017 г. Том 83. № 4
Влияниеэлектропитаниямагнетроннойраспылительнойсистемы на свойстваосаждаемых пленокTiO[2] Абрамов Н. Ф.Безруков А. В.Вольпян О. Д.2017 год

Влияние электропитания магнетронной распылительной системы на свойства осаждаемых пленок TiO[2]
статья из журнала

Заказать копию статьи
База данных: Каталог библиотеки СФУ (В 586)
Библиографическое описание: Влияние электропитания магнетронной распылительной системы на свойства осаждаемых пленок TiO[2] / Н. Ф. Абрамов [и др.]. - (Исследование структуры и свойств) (Физические методы исследования и контроля). - Текст : непосредственный // Заводская лаборатория. Диагностика материалов. - 2017. - Т. 83, № 4. - С. 31-37. - Библиогр.: с. 36-37 (13 назв. ). - ISSN 1028-6861.
Аннотация: Рассмотрены преимущества получения прецизионных оптических покрытий методом магнетронного распыления с электропитанием газового разряда в среднечастотном диапазоне изменения токов. Обоснована важность выбора оптимальных характеристик и режимов работы источников электропитания магнетронной распылительной системы для получения оптических покрытий высокого качества. На разработанной технологической установке магнетронного распыления, включающей многорежимную систему электропитания магнетронной распылительной системы, получены образцы с тонкими пленками TiO[2] при различных частотах повторения импульсов тока, подаваемых на магнетронную распылительную систему, и идентичных других условиях напыления. Образцы были исследованы методами лазерной эллипсометрии, атомно-силовой микроскопии, рентгеновской дифракции и рентгеновской рефлектометрии.
Год издания: 2017
Авторы: Абрамов Н. Ф. , Безруков А. В. , Вольпян О. Д. , Обод Ю. А.
Источник: Заводская лаборатория. Диагностика материалов
Выпуск: Т. 83, № 4
Номера страниц: 31-37
Количество экземпляров:
  • Читальный зал (пер. Вузовский, 6Д): свободно 1 из 1 экземпляров