1. Главная
  2. Ресурсы
  3. Библиотечный поиск
  4. Журнал «Заводская лаборатория. Диагностика материалов»
  5. Выпуск 2017 г. Том 83. № 4
Влияниеэлектропитаниямагнетроннойраспылительнойсистемы на свойстваосаждаемых пленокTiO[2] Абрамов Н. Ф.Безруков А. В.Вольпян О. Д.2017 год

Влияние электропитания магнетронной распылительной системы на свойства осаждаемых пленок TiO[2]
статья из журнала

Заказать копию статьи
База данных: Каталог библиотеки СФУ (В 586)
Библиографическое описание: Влияние электропитания магнетронной распылительной системы на свойства осаждаемых пленок TiO[2] / Н. Ф. Абрамов [и др.]. - (Исследование структуры и свойств) (Физические методы исследования и контроля). - Текст : непосредственный // Заводская лаборатория. Диагностика материалов. - 2017. - Т. 83, № 4. - С. 31-37. - Библиогр.: с. 36-37 (13 назв. ). - ISSN 1028-6861.
Аннотация: Рассмотрены преимущества получения прецизионных оптических покрытий методом магнетронного распыления с электропитанием газового разряда в среднечастотном диапазоне изменения токов. Обоснована важность выбора оптимальных характеристик и режимов работы источников электропитания магнетронной распылительной системы для получения оптических покрытий высокого качества. На разработанной технологической установке магнетронного распыления, включающей многорежимную систему электропитания магнетронной распылительной системы, получены образцы с тонкими пленками TiO[2] при различных частотах повторения импульсов тока, подаваемых на магнетронную распылительную систему, и идентичных других условиях напыления. Образцы были исследованы методами лазерной эллипсометрии, атомно-силовой микроскопии, рентгеновской дифракции и рентгеновской рефлектометрии.
Год издания: 2017
Авторы: Абрамов Н. Ф. , Безруков А. В. , Вольпян О. Д. , Обод Ю. А.
Источник: Заводская лаборатория. Диагностика материалов
Выпуск: Т. 83, № 4
Номера страниц: 31-37
Количество экземпляров:
  • Читальный зал (пер. Вузовский, 6Д): свободно 1 из 1 экземпляров

Похожие публикации

Свойства тонкихпленок сульфидоввольфрама и меди,полученных методоммагнетронногораспыления Ан В. В.Погребенков В. М.Захаров А. Н.2016 год

Свойства тонких пленок сульфидов вольфрама и меди, полученных методом магнетронного распыления

  • Ан В. В. и др.
  • 2016 год
Защитное покрытие наоснове системZrO[2]-Y[2]O[3] иAl[2]O[3]-TiO[2] смодифицирующимидобавками на УУКМ Синицын Д. Ю.Аникин В. Н.Еремин С. А.2017 год

Защитное покрытие на основе систем ZrO[2]-Y[2]O[3] и Al[2]O[3]-TiO[2] с модифицирующими добавками…

  • Синицын Д. Ю. и др.
  • 2017 год
Диагностикамногослойныхнаноматериаловметодамирентгеновской иэлектроннойкристаллографии Имамов Р. М.Клечковская В. В.Галиев Г. Б.2016 год

Диагностика многослойных наноматериалов методами рентгеновской и электронной кристаллографии

  • Имамов Р. М. и др.
  • 2016 год
Исследование процессаполучения структуры исвойств магнетронныхнанослойныхFeAl-покрытий Борисов Ю. С.Кузнецов М. В.Ткаченко Б. Т.2017 год

Исследование процесса получения структуры и свойств магнетронных нанослойных FeAl-покрытий

  • Борисов Ю. С. и др.
  • 2017 год
ИзносостойкиепокрытияTi-AI-Si-C-N,полученные методоммагнетронногораспыленияСВС-мишеней Кирюханцев-Корнеев Ф. В.Купцов К. А.Шевейко А. Н.2011 год

Износостойкие покрытия Ti-AI-Si-C-N, полученные методом магнетронного распыления СВС-мишеней

  • Кирюханцев-Корнеев Ф. В. и др.
  • 2011 год
Формирование иисследованиекомпозиционногоматериала серебро -нитинол медицинскогоназначения Насакина Е. О.Баикин А. С.Сергиенко К. В.2016 год

Формирование и исследование композиционного материала серебро - нитинол медицинского назначения

  • Насакина Е. О. и др.
  • 2016 год
Применение дуговогоразряда для нанесенияметаллическихнаноразмерных пленок Тупик В. А.Потапов А. А.Марголин В. И.2021 год

Применение дугового разряда для нанесения металлических наноразмерных пленок

  • Тупик В. А. и др.
  • 2021 год

Синтез и фотоэлектрокаталитическая активность анодных наноструктурированных TiO[2]пленок

  • Зосько Н. А. и др.
  • 2021 год

Показать ещё

Влияние разряда малого анода на свойства тонких титаносодержащих плёнок, полученных методом…

  • Зайцев О. В. и др.
  • 2025 год
Исследование влияниядоли кислорода вплазме на фазовыйсостав TiO[x] -покрытий, осажденныхмагнетронным методом Нарцев В. М.Аткарская А. Б.Евтушенко Е. И.2015 год

Исследование влияния доли кислорода в плазме на фазовый состав TiO[x] - покрытий, осажденных…

  • Нарцев В. М. и др.
  • 2015 год
Использование способаионно-атомногоосаждения длясоздания одномерныхкомпозитов Насакина Е. О.Севостьянов М. А.Демин К. Ю.2015 год

Использование способа ионно-атомного осаждения для создания одномерных композитов

  • Насакина Е. О. и др.
  • 2015 год
Керамическиедиэлектрики в системеоксидовZrO[2]-SnO[2]-TiO[2]для микроволновойтехники Макаров Н. А.Анисимов В. В.Харин О. И.2024 год

Керамические диэлектрики в системе оксидов ZrO[2]-SnO[2]-TiO[2] для микроволновой техники

  • Макаров Н. А. и др.
  • 2024 год
Структура иориентационныеизменения в процессероста пленок твердогораствора Pd-5% (ат.)Pb Горбунов С. В.Донцов А. И.Синецкая Д. А.2019 год

Структура и ориентационные изменения в процессе роста пленок твердого раствора Pd-5% (ат.) Pb

  • Горбунов С. В. и др.
  • 2019 год
Применениемногослойныхдиэлектрическихпокрытий дляподавления излучениянерабочих порядковспектра вспектрометрах… Семенов З. В.Лабусов В. А.Зарубин И. А.2017 год

Применение многослойных диэлектрических покрытий для подавления излучения нерабочих порядков…

  • Семенов З. В. и др.
  • 2017 год
Свойства пленоксплаваCr-Co-Cu-Fe-Ni,полученныхмагнетроннымраспылением Шагинян Л. Р.Бритун В. Ф.Крапивка Н. А.2018 год

Свойства пленок сплава Cr-Co-Cu-Fe-Ni, полученных магнетронным распылением

  • Шагинян Л. Р. и др.
  • 2018 год
Магнетронныенанокомпозитныепокрытия nc-TiC/a-C Борисов Ю. С.Кузнецов М. В.Волос А. В.2013 год

Магнетронные нанокомпозитные покрытия nc-TiC/a-C

  • Борисов Ю. С. и др.
  • 2013 год