Библиографическое описание:Тимофеев, П. А. Термодинамическая оценка возможности осаждения боридов кремния из их галогенидов = Thermodynamic assessment of capability for deposition of silicon borides from their halogen ides / П. А. Тимофеев, А. Н. Тимофеев. - (Наноструктурированные материалы и функциональные покрытия). - Текст : непосредственный // Известия вузов. Порошковая металлургия и функциональные покрытия = Universities Proceedings. Powder Metallurgy and Functional Coatings. - 2017. - № 1. - С. 58-63 : ил., 3 табл. - Библиогр.: с. 63 (15 назв. ). - ISSN 1997-308X.
Аннотация:Представлены результаты прогнозного расчета необходимых термодинамических характеристик - энтальпии, энтропии, теплоемкости - силицидов бора для термодинамического анализа системы Si-B-Cl-H, проведенного с помощью программного комплекса TERRA.
