Библиографическое описание:Афонин, С. М. Параметрические структурные схемы многослойного пьезоактюатора нано- и микроперемещений при поперечном пьезоэффекте / Афонин С. М. - Текст : непосредственный // Электричество. - 2014. - № 12. - С. 37-46 : 5 рис. - Библиогр.: с. 45-46 (11 назв. ). - ISSN 0013-5380.
Аннотация:Применение прецизионного пьезопривода нано- и микроперемещений перспективно в оборудовании нанотехнологии, нанобиологии, микроэлектроники и астрономии. Пьезокерамический актюатор (пьезоактюатор) или пьезодвигатель такого пьезопривода работает на основе обратного пьезоэффекта. Перемещение достигается за счет деформации пьезоактюатора в диапазоне от единиц нанометров до десятков микрометров с точностью до десятых долей нанометров при приложении электрического напряжения. Диапазон перемещения пьезопривода до сотен микрометров увеличивается при использовании многослойного (составного) пьезоактюатора при поперечном пьезоэффекте. Полученные в статье структурно-параметрическая модель, параметрические структурные схемы и передаточные функции многослойного пьезоактюатора при поперечном пьезоэффекте позволяют описывать его динамические и статические свойства с учетом физических параметров, внешней нагрузки и электрического сопротивления согласующих цепей.
