Библиографическое описание:Высокотемпературное и электрохимическое окисление тонких пленок NiSi и NiSi[2] / А. С. Драненко [и др.]. - (Физико-химические исследования материалов). - Текст : непосредственный // Порошковая металлургия. - 2013. - № 9/10. - С. 109-114. - Библиогр.: с. 114 (11 назв. ). - Статья сопровождается аннотациями на русском, украинском и английском языках. - ISSN 0032-4795.
Аннотация:Изучено высокотемпературное и анодное окисление тонких пленок NiSi и NiSi[2], полученных методом термического отжига пленки Ni на монокристаллическом кремнии.
