1. Главная
  2. Ресурсы
  3. Библиотечный поиск
  4. Журнал «Датчики и системы»
  5. Выпуск 2016 г. № 1
Адгезия вмикромеханическихсистемах Бестугин Александр РоальдовичКиршина Ирина АнатольевнаОводенко Анатолий Аркадьевич2016 год

Адгезия в микромеханических системах
статья из журнала

Заказать копию статьи
База данных: Каталог библиотеки СФУ
Библиографическое описание: Адгезия в микромеханических системах / Бестугин Александр Роальдович [и др.]. - (Санкт-Петербургскому Государственному университету аэрокосмического приборостроения - 75 лет) (Представляет Институт радиотехники, электроники и связи). - Текст : непосредственный // Датчики и системы. - 2016. - № 1. - С. 5-9 : ил. - Библиогр.: с. 9 (5 назв.). - Заглавие, аннотация, ключевые слова на русском и английском языках. - ISSN 1992-7185.
Аннотация: Адгезия рассматривается в статье как фактор, в значительной мере определяющий надежность технологических процессов в производстве микроэлектромеханических систем (МЭМС), изготовленных с применением поверхностной технологии. Исследуются физические и химические условия ее возникновения, проводится количественная оценка близкодействующих и поверхностных сил, приводящих к адгезионному коллапсу в МЭМС. Сформулированы предложения по предотвращению адгезии на завершающих этапах технологического процесса. Обсуждаются существующие и перспективные методы, применяемые с этой целью на предприятиях электронной промышленности.
Год издания: 2016
Авторы: Бестугин Александр Роальдович , Киршина Ирина Анатольевна , Оводенко Анатолий Аркадьевич , Осколков Борис Вадимович , Филонов Олег Михайлович
Источник: Датчики и системы
Выпуск: № 1
Номера страниц: 5-9
Количество экземпляров:
  • Абонемент научной литературы (пр. Свободный, 79, Б1-14): свободно 1 из 1 экземпляров

Похожие публикации

Теоретический базис иконструктивно-кинематические схемымикромеханическихинерциальныхавтоколебательныхдатчиков Скалон Анатолий ИвановичТыртычный Алексей АнатольевичАман Елена Эдуардовна2016 год

Теоретический базис и конструктивно-кинематические схемы микромеханических инерциальных…

  • Скалон Анатолий Иванович и др.
  • 2016 год
Адаптивное нечеткоеуправление следящихэлектромеханическихсистем Хижняков Ю. Н.Южаков А. А.Безукладников И. И.2018 год

Адаптивное нечеткое управление следящих электромеханических систем

  • Хижняков Ю. Н. и др.
  • 2018 год
Оценка добротностибалочногомикрорезонатора сучетом многослойностиего структуры Бестугин А. Р.Филонов О. М.Овчинникова Н. А.2018 год

Оценка добротности балочного микрорезонатора с учетом многослойности его структуры

  • Бестугин А. Р. и др.
  • 2018 год
Организация входногоконтролячувствительныхэлементовмикромеханическихдатчиков на пластине Якимова Анна ВасильевнаБелогуров АлексейАлександровичБеляев Яков Валерьевич2017 год

Организация входного контроля чувствительных элементов микромеханических датчиков на пластине

  • Якимова Анна Васильевна и др.
  • 2017 год
Анализ динамикигеометрическианизотропногокольцевогочувствительногоэлементамикромеханическоговолнового… Панкратов Владимир МихайловичГоликов Алексей ВикторовичПанкратова Елена Владимировна2018 год

Анализ динамики геометрически анизотропного кольцевого чувствительного элемента…

  • Панкратов Владимир Михайлович и др.
  • 2018 год
Исследованиенелинейных эффектов вэлектростатическойсистеме возбужденияколебаний резонаторамикромеханического… Маслов А. А.Маслов Д. А.Меркурьев И. В.2015 год

Исследование нелинейных эффектов в электростатической системе возбуждения колебаний резонатора…

  • Маслов А. А. и др.
  • 2015 год

Компоненты микросистемной техники. Основы конечно-элементного анализа радиочастотных…

  • Маринушкин Павел Сергеевич и др.
  • 2022 год
Жесткость торсионнойподвескимикромеханическоговолновоготвердотельногогироскопа Кирсанов М. Н.2015 год

Жесткость торсионной подвески микромеханического волнового твердотельного гироскопа

  • Кирсанов М. Н.
  • 2015 год

Показать ещё

Адгезия стекол ирасплавов системы(Ge[21]Te[79])[100 -x](AgL)[x] (X = 30,40, 50) к кварцевомустеклу Мишинов С. В.Вельмужов А. П.Тюрина Е. А.2025 год

Адгезия стекол и расплавов системы (Ge[21]Te[79])[100 - x](AgL)[x] (X = 30, 40, 50) к кварцевому…

  • Мишинов С. В. и др.
  • 2025 год

Надежность механических систем

  • Зорин В. А.
  • 2021 год

Диагностика и надежность автоматизированных систем

  • Даныкина Галина Борисовна и др.
  • 2012 год
Высокоэффективнаясистема очисткитехнологическоговоздуха длямукомольных,хлебопекарных идругих пищевыхпредприятий Турчанинова Тамара ПетровнаГречанников МихаилВладимировичЕйвин Петр Сергеевич2016 год

Высокоэффективная система очистки технологического воздуха для мукомольных, хлебопекарных и…

  • Турчанинова Тамара Петровна и др.
  • 2016 год
Повышениеэффективностилокальных системочистки воздухарабочей зоны Кондрашов С. Г.2015 год

Повышение эффективности локальных систем очистки воздуха рабочей зоны

  • Кондрашов С. Г.
  • 2015 год
Способы повышенияотказоустойчивостибаз данныхавтоматизированныхсистем управленияпроизводством Исмаилов О. М.2017 год

Способы повышения отказоустойчивости баз данных автоматизированных систем управления производством

  • Исмаилов О. М.
  • 2017 год

Умные электромеханические системы SEMS

  • Городецкий А. Е. и др.
  • 2022 год
Информационно-управляющие системы Горенский Борис МихайловичКирякова Оксана ВалерьевнаЛапина Лариса Александровна2008 год

Информационно-управляющие системы

  • Горенский Борис Михайлович и др.
  • 2008 год