Адгезия в микромеханических системахстатья из журнала
База данных: Каталог библиотеки СФУ
Библиографическое описание: Адгезия в микромеханических системах / Бестугин Александр Роальдович [и др.]. - (Санкт-Петербургскому Государственному университету аэрокосмического приборостроения - 75 лет) (Представляет Институт радиотехники, электроники и связи). - Текст : непосредственный // Датчики и системы. - 2016. - № 1. - С. 5-9 : ил. - Библиогр.: с. 9 (5 назв.). - Заглавие, аннотация, ключевые слова на русском и английском языках. - ISSN 1992-7185.
Аннотация: Адгезия рассматривается в статье как фактор, в значительной мере определяющий надежность технологических процессов в производстве микроэлектромеханических систем (МЭМС), изготовленных с применением поверхностной технологии. Исследуются физические и химические условия ее возникновения, проводится количественная оценка близкодействующих и поверхностных сил, приводящих к адгезионному коллапсу в МЭМС. Сформулированы предложения по предотвращению адгезии на завершающих этапах технологического процесса. Обсуждаются существующие и перспективные методы, применяемые с этой целью на предприятиях электронной промышленности.
Год издания: 2016
Авторы: Бестугин Александр Роальдович , Киршина Ирина Анатольевна , Оводенко Анатолий Аркадьевич , Осколков Борис Вадимович , Филонов Олег Михайлович
Источник: Датчики и системы
Выпуск: № 1
Номера страниц: 5-9
Количество экземпляров:
- Абонемент научной литературы (пр. Свободный, 79, 3 этаж, холл): свободно 1 из 1 экземпляров
Ключевые слова: Ван-дер-Ваальса силы, мэмс, адгезия, микромеханические системы, микроэлектромеханические системы, надежность технологических процессов, силы Ван-дер-Ваальса, сублимационная очистка, технологические процессы
Рубрики: Радиоэлектроника,
Электроника в целом
Электроника в целом
ISSN: 1992-7185
Идентификаторы: шифр dasi/2016/1-103137