Библиографическое описание:Механик, Александр. Сложить нанопасьянс / Александр Механик. - (Наука и технологии. Наноэлектроника). - Текст : непосредственный // Эксперт. - 2012. - № 4. - С. 51-57 : 6 схем. - ISSN 1812-1896.
Аннотация:О фотолитографии в микроэлектронике и особенностях производства фотолитографических установок. О ключевых позициях российских ученых в разработке фотолитографов нового поколения и перспективах развития наукоемкого машиностроения.
