Методы синтеза наноструктурных материалов и тонких пленок : учебно-методическое пособие
База данных: Каталог библиотеки СФУ (ББК22.3 М 545)
Библиографическое описание: Методы синтеза наноструктурных материалов и тонких пленок : учебно-методическое пособие / Сибирский федеральный университет, Институт инженерной физики и радиоэлектроники ; сост.: И. В. Карпов, Л. Ю. Федоров. - Электрон. текстовые дан. (1,6 Мб). - Красноярск : СФУ, 2024 (2024-06-28). - 24 с. : цв. ил., рис. - Загл. с титул. экрана. - Электрон. версия печ. публикации . - Библиогр.: с. 20. - 100 экз. - Изд. № 2024-22142 : Б. ц. - Текст : электронный.
Аннотация: Приведены основные требования к выполнению лабораторных работ по дисциплине «Специальный физический практикум». Дано краткое описание устройств вакуумно-дугового и магнетронного напыления. Изложены основные физические принципы получения наноструктурных материалов в плазме дугового разряда низкого давления и тонких пленок методом магнетронного напыления. Предназначено для студентов и магистрантов, обучающихся по направлению подготовки 03.04.02 «Физика», всех форм обучения.
Год издания: 2024
Редакторы, составители и др.: Карпов Игорь Васильевич (составитель); Федоров Леонид Юрьевич (составитель)
Авторский коллектив: Сибирский федеральный университет, Институт инженерной физики и радиоэлектроники (Красноярск)
Издательство: Сибирский федеральный университет, Красноярск
Количество страниц: 24 (в печатной версии), 25 (в электронной версии)
Количество экземпляров:
Издание имеется только в электронном виде
Ключевые слова: нанодисперсные материалы, наноструктурные материалы, плазмохимический синтез, нанесение тонких наноструктурных пленок, тонкие пленки, магнетронное напыление
Рубрики: Физика / Наноструктурные материалы / Учебно-методические пособия
Классификационные коды: УДК 539.2(07), ББК 22.37я73, ГРНТИ 29.19.22
Идентификаторы: полочный индекс ББК22.3 М 545, шифр 539.2(07)/М 545-279134300