Библиографическое описание:Технология тонких пленок : справочник : в 2-х т. : пер. с англ. / ред. Л. Майссел, Р. Глэнг. - Москва : Советское радио. - Текст : непосредственный. Т. 2 / К. А. Нейгебауэр, С. Мадер, И. Х. Кан. - 1977. - 764 с. : ил. - Библиогр. в конце глав. - Предм. указ.: с. 754-764. - MD5 461/0770EEA5A67A4AEDD1757760F2DDC007 (в пер.) : 4.45 р.