Библиографическое описание:Веселов, Д. С. Технология изготовления универсальной диэлектрической мембранной конструкции для восстанавливаемых сорбционных газовых сенсоров / Д. С. Веселов, Ю. А. Воронов. - (Химическая технология и экология технологических процессов). - Текст : непосредственный // Дизайн и технологии. - 2012. - № 31 (73). - С. 74-81. - Библиогр.: с. 81. - ISSN 2076-4693.
Аннотация:Разработана технология, основанная на разделении операции анизотропного травления полостей под образование мембран на два этапа и формирование разноуровневого протрава полостей под образование мембран и разделительных полос на основном этапе анизотропного травления, позволяющая все технологические операции проводить групповым методом и пригодная для серийного производства устройств выявления практически любого газа.
