База данных:Каталог библиотеки СФУ (22.03.01 И 460)
Библиографическое описание:Ильин, Александр Анатольевич. Вакуумная ионно-плазменная обработка : Учебное пособие / Московский авиационный институт (национальный исследовательский университет). - 1. - Москва : Издательский дом "Альфа-М", 2022. - 160 с. - (Современные технологии: Магистратура). - ISBN 978-5-98281-366-4. - ISBN 978-5-16-101477-6 (электр. издание). - ISBN 978-5-16-009188-4 (ISBN соиздателя) : Б. ц. - Текст : непосредственный.
Аннотация:Рассматриваются актуальные вопросы формирования потоков газовой и металлической плазмы равномерность их распределения в рабочем объеме камер вакуумных установок а также изменения конденсата металлической плазмы при формировании структур и свойств модифицированных поверхностных слоев однослойных многослойных градиентных нано-структурных покрытий при вакуумной ионно-плазменной обработке. Для студентов высших учебных заведений обучающихся по направлению подготовки магистров 150100 «Материаловедение и технологии материалов».