Библиографическое описание:Корзо, Виктор Федорович. Диэлектрические пленки в микроэлектронике / В. Ф. Корзо, В. Н. Черняев. - Москва : Энергия, 1977. - 367 с. : ил. - (Электронное материаловедение). - Библиогр.: с. 344-365. - (в пер.) : 1.35 р. - Текст : непосредственный.
